Giảm thiểu rủi ro oxy hóa bán dẫn

Giải quyết vấn đề
Xác định chính xác Life time, giảm chi phí vận hành

Người dùng thường gặp nhiều vấn đề với Dry Pump, chẳng hạn như thiết bị bị lão hóa sớm trước kỳ bảo dưỡng định kỳ, hoặc bơm bị kẹt bột gây hư hỏng cơ khí, thậm chí kẹt trục dẫn đến dừng máy đột ngột. Ngoài ra, các vấn đề về dầu tại ổ bi cũng khiến bơm hư hỏng sớm. Đối với thiết bị vẫn hoạt động tốt, người dùng mong muốn kéo dài chu kỳ bảo dưỡng nhằm giảm chi phí vận hành, nhưng lại khó xác định liệu thiết bị sau khi bảo dưỡng có thực sự đạt tiêu chuẩn hay không.

Xuất phát từ những điểm đau này, Goodtech đã phát triển phần mềm và thuật toán chuyên dụng, tích hợp các cơ chế như ISO 10816 đánh giá chất lượng rung động máy quay, quản lý Broad Band và SOA (Spectrum Overall Value). Hệ thống chuyển đổi tín hiệu phức tạp thành chỉ số sức khỏe trực quan, khắc phục hạn chế của các phương pháp giám sát truyền thống. Ngay cả khi người dùng không có nền tảng phân tích FFT (Fast Fourier Transform), vẫn có thể nhận diện các dấu hiệu bất thường nhỏ. Hệ thống giúp nhanh chóng xác định trạng thái bơm chân không ở các mức: Tốt, Bình thường, Cảnh báo và Nguy hiểm, đồng thời hỗ trợ quản lý xu hướng biến động ngắn hạn thường bị bỏ qua.

Mục tiêu triển khai
＃Hiểu rõ chất lượng thiết bị, tránh dừng máy đột ngột
Nắm bắt chính xác tình trạng sức khỏe của Dry Pump, thực hiện bảo dưỡng dự đoán phù hợp, tránh hư hỏng cơ khí hoặc kẹt bơm do kẹt bột hay vấn đề dầu ổ bi, từ đó giảm rủi ro dừng máy không báo trước.

＃Nhanh chóng xác định nguyên nhân, loại bỏ bất thường
Dry Pump có nhiều chủng loại và ảnh hưởng lớn đến quy trình sản xuất. Khi sự cố xảy ra, hệ thống giúp nhanh chóng xác định nguyên nhân cốt lõi và loại bỏ bất thường, tránh làm gián đoạn dây chuyền và gia tăng chi phí sản xuất.

＃Giảm chi phí bảo dưỡng, đảm bảo hiệu quả sau bảo trì
Do sự khác biệt về chủng loại, nhiều Dry Pump được gửi về hãng hoặc bảo dưỡng bên ngoài. Việc đánh giá chính xác chất lượng thiết bị giúp tránh bảo dưỡng quá mức, bảo dưỡng đúng thời điểm và xác nhận rõ ràng hiệu quả sau bảo trì, từ đó giảm chi phí vận hành.

＃Tăng tỷ lệ sử dụng thiết bị tốt, ngăn ngừa lão hóa sớm
Dry Pump đóng vai trò quan trọng trong quy trình bán dẫn. Khi không nắm rõ tình trạng thiết bị, người dùng thường thay thế nhiều linh kiện không cần thiết, làm tăng chi phí bảo trì. Hiểu rõ chất lượng thiết bị giúp tối ưu chi phí và ngăn ngừa lão hóa sớm.

Giải quyết vấn đề
Lợi ích mà OLVMS®-DP mang lại!

Dễ sử dụng, triển khai nhanh

Kiểm soát chất lượng thiết bị

Chỉ dẫn bảo trì chính xác

Nâng cao hiệu quả bảo dưỡng

Tránh tổn thất do dừng máy

Giảm chi phí bảo trì