Các vấn đề thường gặp tại Sub-Fab?

Giải quyết điểm đau
Yếu tố nào ảnh hưởng đến Dry pump tại Sub-Fab?

Rủi ro an toàn lao động tại Sub-Fab
Ngành sản xuất bán dẫn thường xuyên đối mặt với các vấn đề về an toàn lao động do sử dụng nhiều loại hóa chất trong quy trình sản xuất. Các khí độc hại như: AsH₃ (Arsine), SiH₄ (Silane), SiH₂Cl₂ (Dichlorosilane), Si₂H₆ (Disilane), SiHCl₃ (Trichlorosilane), GeH₄ (Germane), PH₃ (Phosphine), NH₃ (Ammonia), v.v., gây nguy hiểm tức thì cho con người và môi trường. Sau khi phản ứng tại máy móc trong phòng sạch, các khí độc này được hệ thống chân không Dry pump dẫn đến Local Scrubber (hệ thống xử lý khí tại chỗ) để xử lý. Nếu tồn đọng trong đường ống, các phản ứng hóa học có thể gây tắc nghẽn, ăn mòn ống dẫn, hoặc nghiêm trọng hơn là dẫn đến rò rỉ và cháy nổ.

Vấn đề quy trình sản xuất tại Sub-Fab
Trong quy trình sản xuất công nghiệp và bán dẫn, các công đoạn như: xử lý nhiệt, phủ bề mặt, sấy khô, xi mạ, luyện kim, khắc nhiệt (Etching), tro hóa (Ashing), tẩy quang trở (Photoresist stripping) đều cần Dry pump để tạo môi trường chân không. Một hệ thống chân không hoàn chỉnh bao gồm van áp suất, đồng hồ đo áp suất, buồng chân không và bơm. Tầm quan trọng của Dry pump thể hiện rõ trong quy trình Khắc khô (Dry Etch): sử dụng plasma để tạo phản ứng hóa học hoặc vật lý từ các phân tử khí. Sau khi màng mỏng bị khắc bởi plasma, các phụ phẩm tạo ra phải được Dry pump hút bỏ ngay lập tức. Do đó, nếu Dry pump gặp sự cố hoặc hoạt động bất thường, tỷ lệ sản phẩm lỗi sẽ tăng cao và gây ô nhiễm chéo cho sản phẩm.

Máy cấy Ion

Khắc khô (Dry Etch)

Máy phủ Slit Coater

Máy CVD

Lò LPCVD

Lò nuôi tinh thể

Mục tiêu thực hiện
Kiểm soát chất lượng vận hành của Dry pump

＃Hiểu rõ tình trạng thiết bị, tránh dừng máy đột ngột
Thiết bị Dry pump tại khu vực Sub-Fab thuộc nhóm máy móc quay. Việc nắm bắt tình trạng sức khỏe của rotor để thực hiện bảo trì dự báo sẽ giúp tránh các hư hỏng cơ khí hoặc kẹt bơm do tích tụ bột (powder), các vấn đề về dầu tại vòng bi (rò rỉ, thoái hóa), từ đó ngăn ngừa tình trạng dừng máy ngoài ý muốn.

＃Nhanh chóng tìm ra nguyên nhân cốt lõi, loại bỏ bất thường
Có rất nhiều dòng máy Dry pump khác nhau tại Sub-Fab và chúng ảnh hưởng trực tiếp đến quy trình sản xuất. Khi sự cố xảy ra, cần phải xác định ngay lập tức điểm mấu chốt của vấn đề để nhanh chóng loại bỏ nguyên nhân bất thường, tránh làm gián đoạn dây chuyền dẫn đến tăng tỷ lệ sản phẩm lỗi và chi phí sản xuất.

＃Giảm chi phí bảo trì, đảm bảo hiệu quả bảo dưỡng
Do sự đa dạng về chủng loại Dry pump, nhiều người dùng thường thuê ngoài hoặc gửi thiết bị về nhà máy gốc (Original Factory) để bảo trì, nhưng thường không thể kiểm chứng được hiệu quả sau khi bảo dưỡng. Nếu nắm rõ chất lượng vận hành, bạn có thể tránh được việc bảo trì quá mức, thực hiện bảo trì đúng thời điểm và từ đó cắt giảm chi phí.

＃Tăng tỷ lệ sử dụng thiết bị tốt, ngăn ngừa lão hóa sớm
Dry pump đóng vai trò cực kỳ quan trọng trong quy trình sản xuất bán dẫn. Nhiều người dùng do không hiểu rõ tình trạng thực tế của máy nên thường bảo trì theo định kỳ thời gian, dẫn đến việc thay thế hàng loạt linh kiện hao mòn chưa cần thiết, làm tăng chi phí. Việc hiểu chính xác chất lượng thiết bị giúp bạn đầu tư ngân sách đúng chỗ và ngăn ngừa tình trạng thiết bị bị lão hóa sớm.

Tránh dừng máy đột ngột

Xác định điểm mấu chốt

Đảm bảo hiệu quả bảo trì

Tăng tỷ lệ thiết bị khả dụng

Cách thức thực hiện
Chẩn đoán và giám sát rung động Dry pump

Nguồn động lực chính trong các thiết bị thường đến từ máy móc quay (ví dụ: các loại động cơ, bơm). Do đó, sức khỏe của máy móc quay liên quan trực tiếp đến độ ổn định của toàn bộ hệ thống. Hệ thống giám sát bơm chân không VMS-DP tích hợp nhiều tiêu chuẩn đánh giá sức khỏe máy móc quay ISO, giúp kỹ sư hoặc nhân viên vận hành có thể đánh giá chính xác trạng thái thiết bị, từ đó nâng cao hiệu quả công tác bảo trì phòng ngừa và bảo trì dự báo.

Dựa trên phân loại các loại máy móc khác nhau (công suất mã lực, hình thức kết nối động cơ và tải, loại rotor, cấu trúc cứng hay đàn hồi), hệ thống sử dụng băng thông đặc định và lọc bỏ các dải tần số nhiễu không mong muốn. Tùy theo nhu cầu, các đại lượng vật lý của rung động sẽ được hiển thị dưới dạng giá trị 0-Peak, Peak to Peak hoặc RMS.

Hệ thống cung cấp khả năng kiểm tra chất lượng cho mọi loại Dry pump trong nhà máy và trực quan hóa thông tin, giúp người dùng dễ dàng tích hợp dữ liệu và nắm bắt trạng thái thiết bị theo thời gian thực. Tính năng biểu đồ xu hướng (Trend chart) cho phép nhân viên bảo trì dự đoán và lập kế hoạch bảo dưỡng phù hợp, phát hiện kịp thời các vấn đề tiềm ẩn và giảm thiểu chi phí sửa chữa.

Hệ thống giám sát bơm chân không VMS-DP

VMS-DP

Hệ thống giám sát bơm chân không