固德科技

SUB-FAB端監診

附屬製造無塵室
各式DRYPUMP監診

Sub-Fab附屬製造無塵室備有多種不同型式的Drypump真空泵浦,如何有效管理監測已達到預知保養?

Sub-Fab端常發生的問題?


Sub-Fab指半導體業附屬製造無塵室,在半導體製程設備裡,常會用到Dry pump製造真空環境。如蝕刻技術,蝕刻設備主要分濕蝕刻(液體)與乾蝕刻(氣體),為了增加蝕刻的精準度,會將環境控制在低壓與高能氣體的狀態下,因此常會使用到Dry pump、Turbo pump。Dry pump品質對於Sub-fab佔有很大的影響力,因此針對Dry pump需要有完善的監測方案,會利用到Dry pump的場域如:半導體長晶廠、半導體製造業、面板製造業、Sub-Fab真空系統、各式製造業廠務真空系統等。所用到的長晶爐、LPCVD 低壓化學氣相沉積爐管、Ion implanter離子佈植、CVD Producer (Chemical Vapor Deposition 化學氣相沉積)、PVD Sputter(Physical vapor deposition 物理氣相沉積濺鍍)、Dry Etch乾刻蝕、Slit Coater塗佈等。


影響Sub-Fab端的Dry pump


Sub-Fab的工安危險

半導體製造業常常困擾於工安的問題,在製程中所使用到的化學物質眾多,有毒氣體如:AsH3砷化氫、SiH4甲矽烷、SiH2Cl2二氯矽烷、Si2H6乙矽烷、SiHCl3三氯氫矽、GeH4甲鍺烷、PH3磷化氫、NH3氨氣等,對於環境與人體都有立即性的危險。這些有毒化學氣體於無塵室機台端反應排放後,透過Dry pump真空系統送至Local Scrubber作處理,若殘留在風管中,一旦有化學反應,輕的話造成排風管堵塞或腐蝕,嚴重的話可能會發生洩漏或爆炸的可能。

Sub-Fab的製程問題

在工業、半導體製造業製程中,部份加工技術程序會如:熱處理、塗層、乾燥、鍍膜、冶金、蝕刻、灰化、去光阻等程序會藉由Dry pump幫助製造真空環境來達成。真空系統由多種組件組合而成,如壓力閥、壓力計、真空腔體與泵浦。Dry pump在製程的重要性如:乾蝕刻(Dry ETCH) 利用電漿,將反應氣體分子,經由離子的化學反應或物理作用。將曝露在電漿下之薄膜蝕刻,生成物時再以Dry pump抽離。因此一旦Dry pump失去作用或異常,可導致在製造過程中的不良品增加,造成產品的污染。

影響Sub-Fab端的Dry pump
執行目標

#了解設備品質,避免無預警停機

Sub-Fab端Dry pump設備屬於轉子機械設備,了解轉子的健康狀況進行預知保養避免Dry pump設備容易因為泵浦卡粉、培林端油品問題(漏油、劣化)容易導致機械損壞或卡死,導致泵浦提前損壞,造成無預警停機。

#快速找出問題癥結點,排除異常

Sub-Fab端Dry pump設備機型種類繁多,對於製程有相當大的影響,當設備問題發生時,需要能立即性找出問題癥結點,快速排除異常原因,以免因為影響產線流程造成產品不良率提高及生產成本。

#降低維護的成本,確保保養效益

Sub-Fab端Dry pump設備因種類機型不同,許多使用者會委外或回原廠進行保養,但往往無法得知回廠後的保養效益。若能了解Dry pump品質,就能避免過度保養,在正確的時間進行保養,進而降低維護成本。

#增加良品使用率,預防提前老化

Sub-Fab端Dry pump設備對於半導體製程佔有很重要的影響,許多使用者會因為不了解設備品質,時間到了就回原廠保養,換了一堆不需要換的耗材部件,增加維護成本,切確了解設備品質才能把錢花在刀口上並且預防提前老化。

SUB-FAB的drypump監診
如何執行

Dry pump的振動監診

設備中有許多動力來源是藉由轉子設備(例如:各式馬達、泵浦),因此轉子設備的健康也就關係著機台設備健康,VMS-RM轉子健康監測系統內建了數個ISO轉子設備健康評鑑規格,可使得工程師或操作人員利用此功能來評鑑各個轉子的健康狀態,來提升維護以及預知保養的工作。根據不同機械種類分類 (馬力大小分類、馬達與負載連接形式、轉子種類、剛性或饒性結構) ,使用該種類指定之特定頻寬,並濾除頻寬內特定頻段,依需求將規定振動物理量之振幅以0-Peak、Peak to Peak、RMS值呈現。提供廠區內各式 DryPump 品質檢測並將資訊可視化,以最清楚簡單的方式呈現給使用者,方便使用者整合資訊並即時了解設備狀態。查看趨勢圖功能讓維修保養人員預測、排程保養時間並可適時發現設備問題並降低維護成本。


了解你的廠區所需要的預知監診規劃


預知監診顧問簡單的說,就是為您的廠房機台設備規劃預知監診計劃,基本上大致的服務範圍為以下內容。

廠務端的預知監診

廠務端中的日常轉動設備,如:各式馬達、泵浦等,廣泛應用在各種產業。因為為數眾多,不易管理,廠務人員巡檢機台往往要耗費大量的時間與人力。部分機房的轉動設備安置地點在戶外或人員不容易到達的地方...

廠務端如何有效預知監診

生產端的預知監診

生產端包含傳統製造業領域大量使用加工類機械手臂、搬送類手臂、加工機、輸送薄膜、Rotor to Rotor 設備、轉子機械(塑膠粒射出)重複性生產行為設備、電焊手臂、沖壓、搓牙等設備機具...

生產端如何有效預知監診

品管場域的預知監診

品管場域需要了解出貨的動態設備出貨品質,品質檢驗如:空載轉子、螺桿滑塊、齒輪箱、機器人、協作型手臂、工業型手臂及整機後結構穩定度、設備運作時的共振、部件狀況,都需要一一監診出來,...

品管場域如何有效預知監診

Fab的預知監診

科技廠中的Fab,包含長晶廠、晶圓代工廠、封裝廠、面板廠等中的環境微振動、避震台、輸送搬運手臂、末端轉子設備(馬達、泵浦、風機)、STK(儲存倉手臂)、各式設備品質監測都能做有效的監診...

Fab端如何有效預知監診

Sub-Fab的預知監診

SubFab無塵室製程系統與設備,對於污染源要求較高,在維持製造符合規格的空間中,常會使用到各式不同的drypump真空泵浦,針對真空馬達需要長時間的監測,以避免因為室內壓力、溫度影響...

Sub-Fab端如何有效預知監診

IIoT工業物聯網應用規劃

工業物聯網針對各式廠區需要監測的穩態訊號,包含微粒子、電壓、電流、壓力、溫度、濕度、流量、漏液等數值,統整系統發送警報,有效避免周遭環境因素影響機台設備及生產線的品質...

如何運用IIot作有效預知監診

想要進一步了解關於預知監診顧問的服務內容?


請與我們分享您廠房現在所面臨的頭痛問題,我們將樂意為您規劃統整廠房設備所需要監診計畫,