Thực tế
Ứng dụng
Hỏi đáp
Xe OHT gặp tình trạng rung động quá lớn khi di chuyển trên đường ray?
Thực tế giám sát｜ Xe OHT gặp tình trạng rung động quá lớn khi di chuyển trên đường ray?OHT đóng vai trò then chốt trong quá trình vận chuyển wafer. Rung động bất thường hoặc độ ổn định vận chuyển không đủ có thể gây ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng sản phẩm. Làm thế nào để phát hiện sớm và dự đoán rủi ro?
Hệ thống OHT (Overhead Hoist Transport)
OHT chủ yếu đảm nhiệm việc vận chuyển wafer.
Trong bối cảnh ngành bán dẫn không ngừng phát triển, mức độ tự động hóa trong phòng sạch ngày càng được nâng cao.
Dưới các yêu cầu quản lý nghiêm ngặt, hệ thống vận chuyển tự động không người lái được áp dụng rộng rãi, trong đó OHT là một giải pháp điển hình.
OHT giống như một hệ thống giao thông thu nhỏ trong nhà máy, cần đảm bảo khả năng di chuyển thông suốt, chính xác theo lộ trình đã định và hoàn thành nhiệm vụ trong thời gian quy định.
Trong thực tế, OHT còn được gọi bằng nhiều tên khác nhau như: xe treo trên cao, hệ thống cầu trục trên không hoặc hệ thống vận chuyển trên cao.
Đối tượng vận chuyển chính của OHT chính là wafer – “hành khách” có giá trị cao.
Các xe OHT sẽ di chuyển theo lộ trình được thiết lập sẵn và thường xuyên giao cắt với các xe OHT khác.
Khi tốc độ di chuyển hoặc độ ổn định của hệ thống không đồng đều, rất có thể nguyên nhân đến từ rung động quá mức, rung động bất thường hoặc thậm chí là va chạm.
Trong trường hợp nghiêm trọng, điều này có thể dẫn đến hư hỏng wafer hoặc ảnh hưởng đến toàn bộ hệ thống sản xuất.
Giải thích về phương án giám sát
IIoT – Internet Vạn Vật Công Nghiệp
OHT là phương tiện vận chuyển tự động không người lái.
Do đó, nếu có thể đảm bảo chất lượng vận hành của xe trong suốt quá trình vận chuyển,
doanh nghiệp sẽ tránh được nhiều tổn thất không cần thiết, đồng thời nâng cao hiệu suất và độ tin cậy trong sản xuất bán dẫn.
Trên mỗi xe OHT, cần có khả năng lắp đặt các thiết bị giám sát hoặc cảm biến.
Thông qua Dashboard giám sát trung tâm, hệ thống có thể theo dõi tình trạng vận hành theo thời gian thực,
phát cảnh báo khi phát hiện bất thường và chủ động thực hiện các biện pháp bảo trì như thay thế linh kiện khi cần thiết,
nhằm đảm bảo tuyến vận chuyển luôn thông suốt và ổn định.
Tình trạng đo lường
Giám sát chất lượng rung động của xe OHT
1. Mục tiêu giám sát: Phát hiện rung động bất thường khi xe OHT di chuyển
2. Xác nhận nguyên nhân rung động bất thường xuất phát từ hành vi di chuyển của thân xe
3. Thực hiện kiểm tra tự chẩn đoán để đánh giá tình trạng đường ray, đảm bảo nguồn gốc bất thường đến từ xe OHT
4. Phát cảnh báo rung động bất thường cho từng xe OHT cụ thể
Chế độ “Trinh sát” (Scout Mode):
1. Mục tiêu giám sát: Phát hiện bất thường về chất lượng đường ray
2. Thời điểm sử dụng: Sau bảo dưỡng định kỳ toàn nhà máy, thực hiện kiểm tra tổng thể hệ thống đường ray.
Mô-đun giám sát sẽ liên tục thu thập dữ liệu rung động của OHT thông qua cảm biến
(các trường hợp rung động vượt ngưỡng trong thời gian dài hoặc xuất hiện xung rung đột biến đều được xem là sự kiện cảnh báo).
• Mô-đun đồng thời đồng bộ thông tin vị trí của OHT
• Khi xảy ra sự kiện cảnh báo (tín hiệu rung động vượt quá ngưỡng nội bộ), hệ thống sẽ phát cảnh báo vượt chuẩn
Gửi về hệ thống trung tâm
• Thông tin cảnh báo: trạng thái cảnh báo, dữ liệu rung động tại thời điểm xảy ra (g / RMS), vị trí hiện tại của OHT
• Dữ liệu cảnh báo chủ yếu được truyền qua kết nối WiFi
• Đồng thời, sự kiện cảnh báo sẽ được truyền qua kênh dự phòng thứ hai (truyền dẫn tần số thấp)
nhằm đảm bảo thông tin vẫn được gửi đi trong trường hợp WiFi gặp sự cố
• Khi xe OHT bị gián đoạn liên lạc, kênh dự phòng vẫn có thể gửi về thông tin rung động vượt chuẩn
(bao gồm tên xe OHT, nhưng không có thông tin vị trí)
Kết luận đo lường
Thông qua việc lắp đặt cảm biến trực tiếp trên thân xe, hệ thống không chỉ có khả năng phát hiện rung động bất thường của xe OHT, đánh giá tình trạng bất thường của đường ray, mà còn nắm bắt được vị trí của xe theo thời gian thực. Khi xảy ra sự cố bất thường, hệ thống sẽ ngay lập tức phát sinh cảnh báo để nhắc nhở và xử lý kịp thời.
Nắm bắt hiện trạng sản xuất tại hiện trường và khoanh vùng bất thường theo thời gian thực. Ứng dụng nền tảng IIoT – Internet Công nghiệp không dây để giám sát liên tục tình trạng dây chuyền sản xuất, từ đó giảm thiểu rủi ro phát sinh sự cố đột ngột không có cảnh báo trước.
IIoT – Internet Công nghiệp không dây
Các câu hỏi thường gặp (FAQ)
Tại sao xe tự hành OHT cần giám sát rung động khi di chuyển?
Xe tự hành OHT chịu trách nhiệm vận chuyển wafer trong phòng sạch bán dẫn. Nếu xảy ra rung động quá mức khi di chuyển, nó có thể ảnh hưởng đến độ ổn định của việc vận chuyển wafer, thậm chí gây hỏng wafer hoặc lỗi hệ thống vận chuyển. Do đó, việc giám sát rung động di chuyển của xe thông qua các cảm biến có thể phát hiện sớm các bất thường và giảm rủi ro cho quy trình.
Rung động OHT quá mức có thể gây ra những vấn đề gì?
Rung động OHT quá mức có thể gây ra việc vận chuyển wafer không ổn định, FOUP hoặc giá mang bị va đập, cơ cấu xe bị mài mòn, đường ray mở rộng bất thường, chậm trễ vận chuyển và ngừng hệ thống. Nếu không được phát hiện kịp thời, nó cũng có thể ảnh hưởng đến hiệu quả sản xuất và độ tin cậy của dây chuyền bán dẫn.
Làm thế nào để xác định bất thường OHT là do xe hay do đường ray?
Có thể lắp đặt cảm biến rung trên xe OHT, kết hợp với khả năng tự phát hiện để kiểm tra sức khỏe của đường ray. Hệ thống có thể so sánh rung động khi di chuyển của xe với thông tin vị trí đường ray để xác nhận xem bất thường là do từng xe riêng lẻ gây ra hay từ một đoạn đường ray cụ thể, từ đó hỗ trợ các kỹ sư khắc phục sự cố nhanh chóng.
Chế độ trinh sát OHT (Scout Mode) là gì?
Chế độ trinh sát OHT có thể được sử dụng để kiểm tra đường ray sau khi bảo trì định kỳ hoặc toàn bộ nhà máy, giám sát trạng thái rung động khi di chuyển của OHT theo thời gian thực thông qua mô-đun giám sát. Khi xuất hiện rung động vượt mức trong thời gian dài hoặc sóng rung đột biến vượt mức, hệ thống sẽ coi đó là sự kiện báo động và gửi lại dữ liệu rung động cùng thông tin vị trí OHT.
Cảnh báo rung động OHT sẽ gửi về những thông tin gì?
Khi OHT xảy ra rung động vượt mức, hệ thống có thể gửi lại trạng thái báo động, dữ liệu rung động hiện tại, chẳng hạn như g/RMS, và thông tin vị trí OHT hiện tại. Dữ liệu cảnh báo chủ yếu được truyền qua Wi-Fi, nhưng cũng có thể được kết hợp với đường truyền băng tần thấp dự phòng thứ hai để tránh việc không thể gửi cảnh báo khi Wi-Fi gặp sự cố.
Lợi ích của việc triển khai giám sát chất lượng rung động OHT là gì?
Sau khi triển khai giám sát chất lượng rung động OHT, có thể nắm bắt theo thời gian thực rung động của xe, trạng thái đường ray và thông tin vị trí OHT. Khi xảy ra bất thường, hệ thống sẽ cảnh báo ngay lập tức, hỗ trợ hiện trường khắc phục sự cố nhanh chóng. Thông qua giám sát dài hạn, nó cũng có thể cải thiện độ ổn định của việc vận chuyển wafer, giảm rủi ro bất thường không lường trước và nâng cao độ tin cậy của dây chuyền sản xuất bán dẫn.
Đọc thêm
Ảnh hưởng của vi rung động môi trường đối với máy Laser Grooving?
Trạng thái hoạt động của cánh tay Bond Head trên máy gắp đặt (die bonder)?
Làm thế nào để thực hiện đo lường trên trục chính máy mài wafer?
Làm thế nào để đảm bảo độ ổn định của cánh tay máy phủ cản quang?
Máy phân tích động lực thiết bị VMS-PH
Không biết thiết bị của bạn đang gặp vấn đề gì?
Tốc độ bảo trì tăng 7 lần, tiết kiệm ngân sách bảo dưỡng hàng năm