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OHT 轨道车行走时发生了振动过大的状况？
监诊实绩｜OHT 轨道车行走时发生了振动过大的状况？OHT对于晶圆片运送过程中掌握了极大的关键，异常的振动、运输的稳定度不够也会导致品质受损，该如何提早预知呢？
OHT 天车系统
OHT主要搬运的物件是晶圆在半导体成长发展下，无尘室自动化的提升，在需要高度严格管理的环境下，多采无人自动化方式搬送系统，OHT就是其中一种。 OHT就像是一个小型城市里的交通运输系统，在厂内需要通行无阻，并要确认在预定时间朝者指定的路径移动。
OHT在网路上有多个名称，称悬吊式载具、天车系统、空中走行式搬运系统等。主要搬运的物件（乘客）是晶圆，OHT车辆会依循设定的路线行驶，当然也常会遇到其他的OHT车辆，当车流速度、稳定度不稳定时，可能就是因为振动过大、异常或是碰撞的状况发生，严重的话将会导致晶圆片的受损或系统影响。
监测说明
IIoT 无限。工业互联网
OHT 为无人化驾驶车辆，所以若能确保车辆在运输过程中的品质，将可避免许多不必要的损失及提升半导体的生产效率与可靠性。在OHT车辆上需要能加装监测仪器或感测器，透过中央监测 Dashboard 实时监测或发布警报以及在必要时采取更换零件维护的动作，确保运输行进路线畅通。
量测状况
轨道车振动品质监测
1. 侦测目标：轨道车行走振动过大
2. 确认为车体行走动作为造成振动异常
3. 自我侦测测试轨道健康，确保异常来自轨道车体
4. 针对个别车体振动异常警示发报
侦察兵模式：
1. 侦测目标：轨道品质异常
2. 使用时机：岁修后整厂轨道巡视，监测模组实时透过感测器监测OHT振动状况(长时间振动过标、振动突波过标皆视为警报事件)
• 模组同时与OHT交握位置资讯
• 一旦有警报事件发生（振动讯号超出内部门槛规范）发出超标警报
给主系统
• 警报资讯：警报、当下振动数据(g/RMS)、当下OHT位置资讯
• 警报与警报资讯主要透过Wifi传输
• 警报事件同时由第二备援(低频段传输)传输资讯，避免wifi讯号异常时，无法确实传输警报事件
• 车子通讯中断，第二备援仍可回传该OHT振动过标(有车子名称、没有车子位置)
测量结论
藉由在车体上安装感测器，除了能够侦测车体是否有异常振动，了解轨道是否有异常，还能够掌握车替即时位置，当发生异常时，立即产生告警提示。
掌握产线现场，即时异常排查。利用无限。工业互联网实时监测产线状况，避免无预警异常的发生。
无限。工业互联网
常见问题（FAQ）
OHT 轨道车为什么需要监测行走振动？
OHT 轨道车负责在半导体无尘室中搬运晶圆，若车体行走时产生过大振动，可能影响晶圆搬送稳定度，甚至造成晶圆片受损或搬送系统异常。因此，透过感测器监测车体行走振动，可提前发现异常并降低製程风险。
OHT 振动过大可能造成哪些问题？
OHT 振动过大可能造成晶圆搬送不稳、FOUP 或载具受冲击、车体机构磨耗、轨道异常扩大、搬送延迟与系统停机。若未即时发现，也可能影响半导体产线的生产效率与可靠性。
如何判断 OHT 异常来自车体还是轨道？
可在 OHT 车体上安装振动感测器，并搭配自我侦测测试轨道健康。系统可比对车体行走振动与轨道位置资讯，确认异常是由个别车体造成，或是来自特定轨道路段，进而协助工程人员快速排查。
OHT 侦察兵模式是什么？
OHT 侦察兵模式可用于岁修后或整厂轨道巡视，透过监测模组即时监测 OHT 行走振动状况。当出现长时间振动过标或振动突波过标时，系统会将其视为警报事件，并回传振动数据与 OHT 位置资讯。
OHT 振动告警会回传哪些资讯？
当 OHT 发生振动过标时，系统可回传警报状态、当下振动数据，例如 g/RMS，以及当下 OHT 位置资讯。警报资料主要可透过 Wi-Fi 传输，也可搭配第二备援低频段传输，避免 Wi-Fi 异常时警报无法确实送出。
导入 OHT 振动品质监测有什么效益？
导入 OHT 振动品质监测后，可即时掌握车体振动、轨道状态与 OHT 位置资讯，当异常发生时立即告警，协助现场快速排查。透过长期监测，也可提升晶圆搬送稳定度、降低无预警异常风险，并提升半导体产线可靠性。