OHT 軌道車行走時發生了振動過大的狀況？

監診實績｜OHT 軌道車行走時發生了振動過大的狀況？

OHT對於晶圓片運送過程中掌握了極大的關鍵，異常的振動、運輸的穩定度不夠也會導致品質受損，該如何提早預知呢？

OHT 天車系統

OHT主要搬運的物件是晶圓在半導體成長發展下，無塵室自動化的提升，在需要高度嚴格管理的環境下，多採無人自動化方式搬送系統，OHT就是其中一種。OHT就像是一個小型城市裡的交通運輸系統，在廠內需要通行無阻，並要確認在預定時間朝者指定的路徑移動。

OHT在網路上有多個名稱，稱懸吊式載具、天車系統、空中走行式搬運系統等。主要搬運的物件（乘客）是晶圓，OHT車輛會依循設定的路線行駛，當然也常會遇到其他的OHT車輛，當車流速度、穩定度不穩定時，可能就是因為振動過大、異常或是碰撞的狀況發生，嚴重的話將會導致晶圓片的受損或系統影響。

監測說明

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OHT 為無人化駕駛車輛，所以若能確保車輛在運輸過程中的品質，將可避免許多不必要的損失及提升半導體的生產效率與可靠性。在OHT車輛上需要能加裝監測儀器或感測器，透過中央監測 Dashboard 實時監測或發佈警報以及在必要時採取更換零件維護的動作，確保運輸行進路線暢通。

量測狀況

軌道車振動品質監測

1. 偵測目標：軌道車行走振動過大
2. 確認為車體行走動作為造成振動異常
3. 自我偵測測試軌道健康，確保異常來自軌道車體
4. 針對個別車體振動異常警示發報

偵察兵模式：
1. 偵測目標：軌道品質異常
2. 使用時機：歲修後整廠軌道巡視，監測模組實時透過感測器監測OHT振動狀況(長時間振動過標、振動突波過標皆視為警報事件)
• 模組同時與OHT交握位置資訊
• 一旦有警報事件發生（振動訊號超出內部門檻規範）發出超標警報

給主系統
• 警報資訊：警報、當下振動數據(g/RMS)、當下OHT位置資訊
• 警報與警報資訊主要透過Wifi傳輸
• 警報事件同時由第二備援(低頻段傳輸)傳輸資訊，避免wifi訊號異常時，無法確實傳輸警報事件
• 車子通訊中斷，第二備援仍可回傳該OHT振動過標(有車子名稱、沒有車子位置)

測量結論

藉由在車體上安裝感測器，除了能夠偵測車體是否有異常振動，了解軌道是否有異常，還能夠掌握車替即時位置，當發生異常時，立即產生告警提示。

掌握產線現場，即時異常排查。利用無限。工業物聯網實時監測產線狀況，避免無預警異常的發生。

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各式數據監測，掌握產線實時狀態

常見問題（FAQ）

OHT 軌道車為什麼需要監測行走振動？
OHT 軌道車負責在半導體無塵室中搬運晶圓，若車體行走時產生過大振動，可能影響晶圓搬送穩定度，甚至造成晶圓片受損或搬送系統異常。因此，透過感測器監測車體行走振動，可提前發現異常並降低製程風險。

OHT 振動過大可能造成哪些問題？
OHT 振動過大可能造成晶圓搬送不穩、FOUP 或載具受衝擊、車體機構磨耗、軌道異常擴大、搬送延遲與系統停機。若未即時發現，也可能影響半導體產線的生產效率與可靠性。

如何判斷 OHT 異常來自車體還是軌道？
可在 OHT 車體上安裝振動感測器，並搭配自我偵測測試軌道健康。系統可比對車體行走振動與軌道位置資訊，確認異常是由個別車體造成，或是來自特定軌道路段，進而協助工程人員快速排查。

OHT 偵察兵模式是什麼？
OHT 偵察兵模式可用於歲修後或整廠軌道巡視，透過監測模組即時監測 OHT 行走振動狀況。當出現長時間振動過標或振動突波過標時，系統會將其視為警報事件，並回傳振動數據與 OHT 位置資訊。

OHT 振動告警會回傳哪些資訊？
當 OHT 發生振動過標時，系統可回傳警報狀態、當下振動數據，例如 g/RMS，以及當下 OHT 位置資訊。警報資料主要可透過 Wi-Fi 傳輸，也可搭配第二備援低頻段傳輸，避免 Wi-Fi 異常時警報無法確實送出。

導入 OHT 振動品質監測有什麼效益？
導入 OHT 振動品質監測後，可即時掌握車體振動、軌道狀態與 OHT 位置資訊，當異常發生時立即告警，協助現場快速排查。透過長期監測，也可提升晶圓搬送穩定度、降低無預警異常風險，並提升半導體產線可靠性。