Support

Làm thế nào để thực hiện đo lường trục chính mài wafer?

Thực tế giám sát｜Làm thế nào để thực hiện đo lường trục chính mài wafer?

Trong quá trình mài, trục chính – bộ phận ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng wafer – thường được bao phủ bởi vỏ bảo vệ, khiến dữ liệu đo lường dễ bị nhiễu nền. Vậy làm thế nào để thực hiện đo lường một cách hiệu quả và chính xác?

Quy trình mài trong sản xuất bán dẫn

Quy trình mài bán dẫn là một bước quan trọng trong sản xuất bán dẫn, thường được sử dụng để làm mỏng và làm phẳng các lớp khác nhau trên wafer. Mục tiêu chính của quá trình mài là tạo ra các wafer có độ dày mỏng hơn, đồng thời đảm bảo độ phẳng giữa các lớp và chất lượng bề mặt.

Đặc biệt trong các công nghệ đóng gói tiên tiến, yêu cầu khả năng tản nhiệt cao hơn, quá trình mài giúp tạo ra wafer mỏng hơn, từ đó cải thiện hiệu suất tản nhiệt và nâng cao hiệu năng của các linh kiện điện tử.

Quy trình mài sử dụng các thiết bị cơ khí chuyên dụng, bao gồm đĩa mài, trục chính và vật liệu mài. Các thiết bị này cho phép gia công bề mặt wafer với độ chính xác cao và khả năng kiểm soát tinh vi.

Trong thiết bị mài, trục chính mài và động cơ trục chính là hai thành phần then chốt. Mối quan hệ vận hành giữa chúng có ảnh hưởng trực tiếp đến hiệu quả mài cũng như độ ổn định của toàn bộ quy trình sản xuất.

Chuyển động của trục chính mài yêu cầu khả năng điều khiển với độ chính xác rất cao nhằm đảm bảo độ chính xác gia công và chất lượng bề mặt trong quá trình mài. Động cơ trục chính cần cung cấp khả năng kiểm soát tốc độ và vị trí chính xác, để trục chính vận hành đúng theo các thông số đã thiết lập.

Rung động trong quá trình mài có thể gây ảnh hưởng tiêu cực đến chất lượng sản phẩm cuối cùng. Một động cơ chất lượng tốt cần có đặc tính rung thấp và độ ổn định cao, giúp trục chính mài duy trì trạng thái vận hành ổn định.

Do đó, việc quản lý trục chính là yếu tố then chốt để đảm bảo chất lượng mài. Tuy nhiên, vì trục chính là bộ phận trung tâm của thiết bị và được bao phủ bởi vỏ bảo vệ, nếu gắn trực tiếp cảm biến lên trục chính trong quá trình đo lường thì rất dễ bị nhiễu nền từ kết cấu bên ngoài. Vậy làm thế nào để thực hiện đo lường một cách hiệu quả?

Mô tả phương pháp giám sát

Thiết bị phân tích động học VMS-PH + Hệ thống quản lý chất lượng rotor VMS-RM
Sử dụng thiết bị phân tích động học VMS-PH để vận hành trong cả hai trạng thái có tải và không tải, nhằm xác định vị trí đo lường tối ưu cho việc lắp đặt cảm biến. Đồng thời, kết hợp với hệ thống quản lý chất lượng rotor VMS-RM để giám sát dài hạn trạng thái thiết bị, phục vụ cho quản lý xu hướng và xây dựng cơ sở cho bảo trì dự đoán.