Support

Dao cắt bị nghiêng gây lỗi cắt wafer?

Thực tế giám sát｜Dao cắt nghiêng gây lỗi cắt wafer?

Bề mặt cắt không đều, thiếu đồng nhất hoặc xuất hiện khuyết tật không chỉ ảnh hưởng đến chất lượng die, mà còn làm suy giảm hiệu năng và độ tin cậy của linh kiện hoặc chip bán dẫn thành phẩm.

Lưỡi cắt của máy cắt wafer

Độ chính xác của lưỡi cắt là một trong những yếu tố then chốt để đảm bảo quá trình cắt chính xác trong sản xuất bán dẫn. Độ chính xác này ảnh hưởng trực tiếp đến độ chính xác khi cắt wafer và chất lượng bề mặt cắt. Các yếu tố quan trọng quyết định độ chính xác của lưỡi cắt bao gồm: hình dạng hình học và kích thước của lưỡi dao phải đồng nhất, giúp nâng cao độ chính xác khi cắt. Việc lắp đặt lưỡi cắt cũng cần đảm bảo sự căn chỉnh chính xác giữa dao và cơ cấu của máy cắt. Bất kỳ sai lệch nào trong quá trình lắp đặt đều có thể dẫn đến lỗi cắt, do đó yêu cầu thao tác cẩn trọng và chính xác. Ngoài ra, kết cấu cơ khí của máy cắt cũng cần được kiểm soát chặt chẽ để đảm bảo lưỡi dao luôn duy trì trạng thái ổn định trong suốt quá trình cắt. Hệ thống điều khiển tự động đóng vai trò quan trọng trong việc nâng cao độ chính xác của lưỡi cắt, bao gồm điều khiển vị trí độ phân giải cao, kiểm soát tốc độ chính xác và cơ chế phản hồi thời gian thực, nhằm đảm bảo độ chính xác và tính nhất quán của quá trình cắt. Để duy trì độ chính xác của lưỡi cắt, cần thực hiện các quy trình kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt trong cả giai đoạn sản xuất và lắp đặt, đồng thời tiến hành bảo trì và hiệu chuẩn định kỳ.

Ảnh hưởng khi lưỡi cắt xảy ra bất thường:

Trong quá trình cắt wafer thành die, nếu lưỡi cắt xảy ra bất thường, có thể gây ra nhiều tổn thất nghiêm trọng:

Suy giảm chất lượng sản phẩm: Bề mặt cắt không đều, thiếu đồng nhất hoặc xuất hiện khuyết tật sẽ ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng die, đồng thời làm suy giảm hiệu năng và độ tin cậy của linh kiện hoặc chip bán dẫn hoàn thiện.

Giảm số lượng sản phẩm: Lỗi cắt hoặc wafer bị hư hỏng sẽ làm giảm số lượng die thu được trên mỗi wafer, từ đó làm giảm sản lượng thành phẩm cuối cùng.

Gia tăng thời gian dừng máy: Khi xảy ra bất thường, thiết bị có thể phải dừng để kiểm tra hoặc thay thế lưỡi cắt, làm tăng thời gian dừng máy và ảnh hưởng đến hiệu suất sản xuất tổng thể. Ngoài ra, có thể cần thực hiện thêm các bước kiểm tra và sửa chữa, khiến chi phí gia tăng.

Giảm mức độ hài lòng của khách hàng: Nếu bất thường của lưỡi cắt dẫn đến suy giảm chất lượng sản phẩm hoặc chậm trễ giao hàng, điều này sẽ ảnh hưởng trực tiếp đến sự hài lòng của khách hàng — đặc biệt trong ngành bán dẫn có mức độ cạnh tranh rất cao.

Để giảm thiểu các tổn thất này, cần triển khai quy trình kiểm soát chất lượng nghiêm ngặt và bảo trì thiết bị định kỳ, bao gồm việc thay thế và kiểm tra lưỡi cắt theo kế hoạch nhằm đảm bảo tính ổn định và chất lượng của quá trình cắt. Do đó, việc áp dụng hệ thống giám sát chất lượng cắt là hết sức cần thiết, giúp phát hiện sớm bất thường của lưỡi cắt và ngăn chặn rủi ro từ những lỗi nhỏ trước khi gây ra thiệt hại lớn.

Làm thế nào để phát hiện?

Thiết bị phân tích chất lượng động VMS-PH
So sánh trạng thái của lưỡi cắt bình thường, lưỡi cắt bị nghiêng và lưỡi cắt bất thường. Thông qua phép biến đổi Fourier nhanh (FFT), phân tích phổ tần số sau chuyển đổi để quan sát sự khác biệt giữa các lưỡi cắt, từ đó sử dụng phổ tần chi tiết hơn nhằm nhận diện sự biến thiên tín hiệu và phát hiện sớm các bất thường trong quá trình cắt.