Giải pháp
Đo
Hệ
IIoT
Giám sát trục servo và áp suất đầu hút
Vì sao cần giám sát?
Máy lên wafer hoạt động bất thường?
Một lỗi nhỏ có thể ảnh hưởng toàn bộ quy trình
Trong quy trình gắn chip, máy lên wafer có nhiệm vụ tách chip từ wafer và đặt lên đế đóng gói,
yêu cầu độ chính xác và độ ổn định ở mức micromet.
Các trục chuyển động của máy hoạt động liên tục với cường độ cao.
Nếu servo không ổn định hoặc xảy ra lỗi, sẽ dẫn đến sai lệch vị trí,
ảnh hưởng chất lượng toàn lô sản phẩm, gây phế phẩm và dừng chuyền.
Cần kiểm soát chính xác lực hút và áp suất
Trong quá trình Pick & Place, đầu hút dùng áp suất chân không để di chuyển wafer/chip.
Áp suất quyết định khả năng bám giữ: quá thấp gây rơi chip, quá cao có thể làm hỏng chip,
dẫn đến lỗi sản phẩm và tổn thất.
Vì sao cần giám sát?
Chất lượng xy lanh khí nén ảnh hưởng đến độ căn chỉnh?
Xy lanh khí nén bất thường = phế phẩm!
Trong công đoạn lên chip, áp suất từ xy lanh khí nén giúp phân bố vật liệu hàn đồng đều
và đảm bảo mối hàn chắc chắn. Sự cố xy lanh có thể do nhiễm dầu/khí,
mòn van gây kẹt lõi, lệch trục, hoặc dị vật gây kẹt xy lanh.
Khi xy lanh hoạt động không ổn định, việc căn chỉnh Die sẽ sai lệch,
ảnh hưởng kết nối điện và dẫn đến sản phẩm lỗi chức năng.
Đặc điểm
Đảm bảo chất lượng trục chuyển động của máy gắp chip
Dòng điện trục bất thường hiển thị cảnh báo màu đỏ
Sử dụng cảm biến kẹp dòng điện bên ngoài, không cần kết nối tín hiệu máy. Có thể giám sát ngay dòng điện motor trục X, Y, Z.
Các trục chuyển động của máy gắp chip được dẫn động bởi motor điều khiển Bond Head.
Khi motor vận hành ổn định, trục chuyển động sẽ chính xác.
Nếu xảy ra thiếu bôi trơn, kẹt hoặc mài mòn, lực cản cơ khí tăng lên,
khiến motor tiêu thụ dòng điện lớn hơn và phát sinh rung động bất thường.
Vì vậy, DB-IoT – Hệ thống giám sát chất lượng máy gắp chip
theo dõi sự thay đổi dòng điện trục để phát hiện sớm bất thường
và xử lý kịp thời, đảm bảo trục vận hành ổn định.
Giám sát dòng điện trục chuyển động để phát hiện sớm lỗi!
Đặc điểm
Tăng mạnh tỷ lệ người–máy, nâng cao hiệu quả quản lý
DB-IoT – Hệ thống giám sát chất lượng máy gắp chip
tích hợp và hiển thị tình trạng vận hành theo thời gian thực của toàn bộ máy.
Kỹ sư và người vận hành không cần đứng máy liên tục,
mà có thể tập trung giám sát tại trung tâm điều khiển.
Khi có cảnh báo, chỉ cần xử lý đúng thời điểm,
giúp giải phóng nhân lực cho các công việc có giá trị cao hơn.
Giám sát tập trung – Cảnh báo tức thời!
Đặc điểm
Ưu tiên kế hoạch bảo trì
Việc dừng máy bảo trì có thể ảnh hưởng trực tiếp đến kế hoạch sản xuất,
do đó cần ưu tiên xử lý các thiết bị quan trọng và khẩn cấp.
DB-IoT – Hệ thống giám sát chất lượng máy gắp chip
hiển thị trạng thái thiết bị bằng đèn đỏ/xanh,
giúp lập lịch bảo trì nhanh chóng.
Hệ thống còn cung cấp biểu đồ xu hướng
để so sánh hiệu quả trước và sau bảo trì.
Cơ sở bảo trì dự đoán ＆ đánh giá hiệu quả bảo dưỡng!
Đặc điểm
Xác định vị trí cần bảo trì
Máy gắp chip có cấu trúc cơ khí phức tạp,
khiến việc xác định nguyên nhân và vị trí lỗi trở nên khó khăn.
Làm sao xác định nhanh vị trí hỏng hóc để rút ngắn thời gian sửa chữa?
DB-IoT – Hệ thống giám sát chất lượng máy gắp chip
cho phép thiết lập ngưỡng cảnh báo tùy chỉnh.
Mỗi trục đều có trạng thái hiển thị riêng,
giúp nhận biết trục bất thường và xác định chính xác vị trí cần bảo trì.
Tùy chỉnh ngưỡng ＆ hiển thị trục lỗi rõ ràng!
Đặc điểm
Xác định bất thường áp suất âm ＆ thiết lập ngưỡng
Áp suất bất thường có thể do van điện từ hỏng hoặc rò rỉ đường ống
Áp suất hút của đầu hút không ổn định có thể gây hút không chắc
hoặc làm nứt chip, ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm.
• Mỗi chu kỳ đều lưu dữ liệu để phân tích bất thường
• Dùng biểu đồ xu hướng theo chu trình làm tiêu chuẩn phát hiện lỗi thứ hai
DB-IoT – Hệ thống giám sát chất lượng máy gắp chip
trích xuất đặc trưng áp suất âm theo thời gian,
thiết lập ngưỡng cảnh báo (ví dụ: áp suất > -40 được xem là bất thường),
giúp nhanh chóng phát hiện lỗi van hoặc đường ống.
Trích xuất đặc trưng ＆ thiết lập ngưỡng cảnh báo!
Đặc điểm
Tinh gọn ＆ lưu trữ dài hạn dữ liệu chất lượng trục chuyển động
Ghi nhận chi tiết vị trí và thời điểm xảy ra bất thường
Để đảm bảo thao tác hút và gắp luôn ổn định, dữ liệu chi tiết là yếu tố then chốt
khi máy xảy ra bất thường.
DB-IoT – Hệ thống giám sát chất lượng máy gắp chip
lưu trữ dữ liệu dài hạn, phân tích tần suất và hành vi chuyển động,
giúp nhanh chóng xác định nguyên nhân lỗi, rút ngắn thời gian xử lý
và nâng cao hiệu suất sản xuất.
Định vị lỗi nhanh – hỗ trợ ra quyết định chính xác!
Phạm vi ứng dụng
Giám sát quy trình gắn chip ＆ căn chỉnh die
Support
Các ứng dụng liên quan trong lĩnh vực bán dẫn
