Bán dẫn ＆ Đóng gói

Trong lĩnh vực bán dẫn và đóng gói, độ chính xác và tính ổn định của thiết bị là yếu tố sống còn. Việc giám sát thiết bị giúp nâng cao độ tinh vi trong chế tạo, đảm bảo vận hành ổn định, từ đó tối ưu hóa chất lượng sản phẩm và hiệu suất sản xuất.

Ảnh hưởng của vi rung môi trường tới máy Coater?

Tác động của vi rung không xuất hiện ngay lập tức nên rất khó nhận biết, nhưng nó ảnh hưởng sâu sắc đến chất lượng quy trình. Làm thế nào để tránh "nhiễu rung do con người" hoặc "tác động môi trường" gây hại cho sản phẩm?

Máy Coater ＆ Vi rung môi trường

Bất thường cánh tay robot trong buồng chân không?

Robot trong buồng chân không (Cluster Robot) phụ trách các chuyển động tần suất cao và độ chính xác tuyệt đối. Việc thiếu giám sát sức khỏe thiết bị thời gian thực thường dẫn đến hư hỏng Wafer hoặc dừng máy đột ngột, gây tổn thất cực lớn.

Robot buồng chân không (Cluster)

Thiếu áp suất khí gây bất thường trong máy phun keo?

Khi AIR PUMP hoạt động ổn định, keo sẽ được phun với lưu lượng chính xác lên bề mặt sản phẩm. Bất kỳ sự thiếu hụt áp suất nào cũng ảnh hưởng trực tiếp đến chất lượng mối dán và tỷ lệ thành phẩm (Yield).

Bất thường máy phun keo (Dispenser)

Bất thường lực hút chân không trong máy Pick ＆ Place?

Máy Pick ＆ Place là thiết bị cốt yếu sử dụng công nghệ hút chân không để định vị và di chuyển linh kiện tốc độ cao. Giám sát lực hút giúp đảm bảo linh kiện không bị rơi hoặc đặt sai vị trí.

Lực hút chân không Pick ＆ Place

Làm thế nào để đo lường trục chính máy mài Wafer?

Trục chính (Spindle) ảnh hưởng trực tiếp đến độ phẳng của Wafer. Do cấu tạo có vỏ bảo vệ, dữ liệu đo thường bị nhiễu. Vậy làm sao để thực hiện giám sát rung động chính xác cho bộ phận này?

Trục chính mài Wafer

Đảm bảo độ ổn định quy trình làm sạch Scrubber?

Dù thao tác đơn giản, quy trình Scrubber loại bỏ hạt (particle) trên bề mặt Wafer quyết định chất lượng chip. Làm thế nào để đảm bảo chuyển động của vòi phun và chổi quét luôn ổn định?

Vận hành máy Scrubber

Bất thường rung động trong hệ thống OHT?

Hệ thống vận chuyển trên cao (OHT) là mạch máu của nhà máy FAB. Bất kỳ rung động bất thường nào khi vận chuyển cassette Wafer cũng có thể gây nứt vỡ hoặc trầy xước sản phẩm giá trị cao.

Hệ thống OHT tự động