Đảm bảo quy trình cắt chính xác
Tải tài liệu giới thiệu
Hệ thống giám sát chất lượng lắp dao cắt
Giải pháp
Đo
Hệ
IIoT
Chuyên dụng cho cắt chip và quản lý chất lượng lắp dao
Tại sao cần thiết?
Cẩn trọng! Độ chính xác tính bằng Micromet quyết định sự thành bại của quy trình!
Từ nguyên liệu thô đến sản phẩm đóng gói cấp độ Wafer cuối cùng, phiến bán dẫn phải trải qua hàng trăm bước công nghệ như xử lý vật liệu, quang khắc, khắc ăn mòn, pha tạp, làm sạch, kim loại hóa... Hơn nữa, với công nghệ xếp chồng CoWoS, cấu trúc đa tầng tích hợp cao và đặc tính kết nối mật độ dày đặc khiến giá trị của mỗi tấm Wafer trở nên cực kỳ đắt đỏ. Do đó, yêu cầu về độ chính xác ngày càng khắt khe, bất kỳ sai lệch nhỏ nào cũng sẽ ảnh hưởng đến sự thành bại của toàn bộ quy trình sản xuất.
Ảnh hưởng của việc cắt lệch (lệch góc dao)?
Dao cắt là một trong những yếu tố then chốt ảnh hưởng đến độ chính xác của nhát cắt. Khi góc dao bị nghiêng hoặc hư hại, dù chỉ là một góc cực nhỏ, cũng có thể khiến các cạnh của hạt chip không bằng phẳng, độ rộng vết cắt không đồng nhất, làm tăng rủi ro nứt vi mô (micro-crack), mẻ chip (Die chipping), vỡ chip (Die crack) hoặc cắt chéo.
Ngoài ra, do góc cắt không phẳng, khi chuyển sang công đoạn cắt tiếp theo có thể dẫn đến tình trạng mài mòn dao nhanh hơn, gãy dao, tăng đáng kể tần suất thay dao và thậm chí gây hư hỏng chip.
Hạng mục giám sát
Quản lý quy trình cắt Wafer
Đặc điểm nổi bật
Quản lý chất lượng mỗi lần thay và lắp dao bằng dữ liệu số!
Bạn gặp khó khăn trong việc kiểm soát chất lượng lắp dao mỗi khi thay mới?
Để đảm bảo lưỡi dao duy trì sự ổn định trong suốt quá trình cắt, bất kỳ sai sót nào khi lắp đặt cũng có thể dẫn đến việc cắt không chính xác. Do đó, thông qua việc quản lý bằng dữ liệu của Hệ thống giám sát chất lượng lắp dao VMS-CK, mọi thao tác thay dao đều được chuẩn hóa.
Trong quá trình thay dao, hệ thống hỗ trợ điều chỉnh tối đa 4 góc độ để đạt được trạng thái cân bằng động (dynamic balance) tối ưu cho lưỡi dao. Việc chuẩn hóa quy trình lắp đặt giúp đảm bảo sản phẩm luôn được cắt với chất lượng rung động tốt nhất và trong tầm kiểm soát!
Đặc điểm nổi bật
Kiểm soát biến động trong chu kỳ cắt, giảm tỷ lệ sản phẩm lỗi!
Trong quá trình cắt Wafer sẽ phát sinh các mảnh vụn cực nhỏ. Do tốc độ cắt và tốc độ tiến dao (feed rate) rất cao, các mảnh vụn này sẽ bị bắn ra với vận tốc lớn. Khi các hạt vi mô này bị cuốn vào trong quá trình cắt, chúng dễ dàng gây mài mòn lưỡi dao hoặc làm dao bị hư hại do va chạm với mảnh vụn bắn ra.
Thông qua việc giám sát giá trị rung động trong chu kỳ cắt của Hệ thống giám sát chất lượng lắp dao VMS-CK, bạn có thể nắm bắt các biến động bất thường, tránh việc tiếp tục sử dụng lưỡi dao bị lỗi gây hư hại cho sản phẩm.
Đặc điểm nổi bật
Giám sát trục di chuyển hoặc trục chính, tránh rung động bất thường!
Trong quá trình cắt, nếu gặp rung động bất thường ở trục di chuyển hoặc trục chính sẽ dẫn đến sai lệch quỹ đạo cắt, thậm chí gây ra nứt vỡ, vết rạn, ba via cạnh cắt, sứt mẻ... ảnh hưởng đến chất lượng cạnh Wafer và các bước quy trình tiếp theo.
Sự mài mòn linh kiện do sử dụng lâu dài, cộng hưởng cấu trúc, hoặc bất thường ở động cơ truyền động đều có thể gây ra rung động lạ. Vì vậy, cần đến Hệ thống giám sát chất lượng lắp dao VMS-CK để theo dõi và nắm bắt chất lượng trục chính cũng như trục di chuyển, tránh rung động bất thường truyền đến lưỡi dao.
Đặc điểm nổi bật
Nắm bắt xu hướng trạng thái dao cắt! Thiết lập quản lý ngưỡng (Threshold)
Vật liệu Wafer có độ cứng cao trong khi tốc độ cắt rất nhanh. Trong quá trình cắt, lưỡi dao sẽ dần bị mài mòn, biến dạng hoặc lão hóa do các tạp chất hoặc ứng suất cơ học, vì vậy cần thay dao định kỳ. Vậy làm thế nào để quyết định thời điểm thay dao chính xác?
Thông qua Hệ thống giám sát chất lượng lắp dao VMS-CK, bạn có thể nắm bắt xu hướng trạng thái chất lượng dao, ngăn chặn sớm các biến động bằng quản lý ngưỡng, đồng thời tránh các sản phẩm lỗi do dao bị nghiêng gây ra.
Đặc điểm nổi bật
Bảo vệ sản phẩm thông qua phân tích dữ liệu thời gian thực!
Trong quy trình cắt băng keo (DAF), nếu sản phẩm đầu vào đã bị cắt lệch từ công đoạn trước, lưỡi dao có thể chạm vào hạt chip (Die) trước khi tiến sâu vào mục tiêu cắt, dẫn đến nứt chip (Die Crack), mẻ chip (Die Chipping), gây bất thường về chất lượng.
Để tránh các vấn đề trên, Hệ thống VMS-CK giám sát đặc trưng rung động trong chu kỳ cắt để nắm bắt các biến động khả nghi, ngăn ngừa hư hại sản phẩm hàng loạt do các tình trạng bất thường gây ra, giúp lập kế hoạch dựa trên tình trạng sử dụng thực tế.
Lợi ích
Nâng cao hiệu suất, rút ngắn thời gian giao hàng!
Thông qua Hệ thống giám sát chất lượng lắp dao VMS-CK, việc kiểm soát chất lượng thiết bị được tối ưu hóa, giúp giảm thiểu sai lệch khi cắt và các bất thường về chip trong quá trình cắt hoặc dán lớp (laminating). Thực hiện bảo trì dự báo chính xác giúp giảm tần suất thay thế linh kiện và chi phí, đồng thời kéo dài tuổi thọ thiết bị. Đảm bảo chất lượng cắt đồng nhất trên mỗi tấm Wafer, giảm thiểu việc phải làm lại (rework) và phế phẩm do lỗi chất lượng. Bằng cách bảo trì định kỳ thiết bị và dao cắt, hệ thống giúp giảm thời gian dừng máy do sự cố, từ đó gia tăng sản lượng. Việc giám sát chất lượng và quản lý thiết bị nghiêm ngặt đảm bảo tính đồng nhất và chất lượng cao cho mỗi lô hàng, củng cố niềm tin và sự hài lòng của khách hàng. Quy trình sản xuất hiệu quả và tỷ lệ làm lại thấp giúp rút ngắn chu kỳ sản xuất, cho phép phản hồi nhanh chóng hơn trước các nhu cầu của thị trường.
Nâng cao
tỷ lệ thành phẩm
Kéo dài
tuổi thọ thiết bị
Nâng cao
hiệu quả sản xuất
Giảm
thời gian dừng máy
Tăng cường
năng lực cạnh tranh
Rút ngắn
chu kỳ giao hàng
Quy trình thao tác
Giảm hao mòn dao, kéo dài tuổi thọ sử dụng
1. Chỉ số giám sát đặc trưng (Feature Value) càng thấp thể hiện hệ số chất lượng rung động càng tốt (bao gồm đáp ứng rung động ở các dải tần, các đại lượng vật lý và cân bằng động tối ưu hơn).
2. Khi các điều kiện quy trình trong tương lai ngày càng khắt khe, chất lượng lắp dao càng tốt thì tỷ lệ tín hiệu trên nhiễu (SNR) khi giám sát và phát hiện các tình trạng bất thường sẽ càng cao.
3. Việc kiểm soát tốt chất lượng lắp dao sẽ mang lại lợi ích giảm hao mòn công cụ và kéo dài tuổi thọ sử dụng của thiết bị.
Support
Các thiết bị Fab liên quan khác
