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Turbo Pump 出现动不平衡的现象？
监诊实绩｜Turbo Pump 出现动不平衡的现象？#数位转型
#转子马达
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#预知保养
Turbo Pump磁浮轴承最重要是动平衡问题，转速频率相对较大就是动平衡不好。该如何进行量测呢？
涡轮泵（Turbo Pump) 作动原理
涡轮泵，是利用高速旋转叶片将动能传给气体分子，产生定向流量而抽气。动片与静片交替排列，叶片倾斜表方向相反，由十多个动静叶片组成。涡轮泵以外型可以分为两大类，垂直气式（Vertical type）及水平式（Horizontal type）。
垂直式较水平式体积小，当有异物掉入泵浦中，涡轮叶片容易损坏，并且修復困难。稳定性稍差，容易有振动的问题。但优点是能够直接取代扩散泵、真空计等，并且较水平式便宜，与真空系统连结时较具弹性，而磁浮轴承式涡轮泵较不受油汙染的威胁。
解决与监测说明
IMS-TP 涡轮泵浦巡检分析仪
对于Turbo Pump磁浮式轴承振动量较小，须以频谱分析作为比较。另外，磁浮式轴承最核心的问题是的是动平衡，例如：转速频率相对较大的就是动平衡不良。我们藉由携带式巡检分析仪器来确保泵浦的品质，并进行预知保养避免发生无预警停机的状况。
量测状况
量测方式：利用转子频谱分析功能进行量测
设备 A / B 在223hz工作转速频比较
设备B 有明显动不平衡现象!
设备A
设备B
测量结论
・TURBO PUMP振动量极小须以频谱分析做为比较
・TURBO PUMP磁浮轴承最重要是动平衡问题，转速频率相对较大就是动平衡不好。
・设备B 在 223RPMS 明显有动不平衡现象，约设备A 振动量的8.6倍。
・无论径向(黏贴、手压)、轴向检测皆发现设备B 明显动不平衡差异建议检测。
IMS-TP 涡轮泵浦巡检分析仪 可以依据厂区及设备属性不同进行分类建立专属地图，并可为设备建立不同数量的量测点位。即时显示地图中设备状态，灯号判读品质状况，藉此提供使用者能即时维护、保养排程的依据。
IMS-TP 涡轮泵浦巡检分析仪
IMS-TP 涡轮泵浦巡检分析仪
适用于各式涡轮泵浦等品质检测
常见问题（FAQ）
Turbo Pump 为什么需要监测动平衡？
Turbo Pump（涡轮分子帮浦）利用高速旋转叶片将动能传递给气体分子以建立真空环境，转速通常远高于一般机械设备。若发生动平衡不良，容易造成磁浮轴承负荷增加、振动升高、抽气效率下降，甚至影响真空製程稳定度，因此需要定期监测其运转状态。
Turbo Pump 磁浮轴承最重要的监测项目是什么？
磁浮轴承 Turbo Pump 最重要的监测项目为动平衡状态。当转速频率振幅明显增加时，通常代表转子质量分布不均或叶片受损，进而造成设备振动异常与运转品质下降。
为什么 Turbo Pump 需要使用频谱分析？
由于 Turbo Pump 本身振动量相当小，若仅观察整体振动值较难辨识异常。因此通常需要透过 FFT 频谱分析观察各频率成分变化，才能准确找出动平衡不良、转速异常或特定频率问题。
Turbo Pump 动平衡不良会产生哪些风险？
动平衡不良可能造成振动增加、轴承负载升高、叶片磨耗、真空效率下降及设备寿命缩短。若异常持续恶化，可能导致製程不稳定、真空品质下降，甚至造成设备停机。
IMS-TP 如何协助 Turbo Pump 巡检？
IMS-TP Turbo Pump 巡检分析仪可依照设备型号、转速与量测位置建立巡检地图与管理标准。透过量测数据与频谱分析结果，可快速判断设备健康状态并规划后续保养工作。
导入 Turbo Pump 预知保养有什么效益？
透过定期巡检与动平衡监测，可提早发现转子异常、叶片损伤与磁浮轴承问题，降低无预警停机风险，延长设备使用寿命，并提升半导体真空製程稳定度与生产品质。