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常见问题
Turbo Pump 出现动不平衡的现象？
监诊实绩｜Turbo Pump 出现动不平衡的现象？Turbo Pump磁浮轴承最重要是动平衡问题，转速频率相对较大就是动平衡不好。该如何进行量测呢？
涡轮泵（Turbo Pump) 作动原理
涡轮泵，是利用高速旋转叶片将动能传给气体分子，产生定向流量而抽气。动片与静片交替排列，叶片倾斜表方向相反，由十多个动静叶片组成。涡轮泵以外型可以分为两大类，垂直气式（Vertical type）及水平式（Horizontal type）。
垂直式较水平式体积小，当有异物掉入泵浦中，涡轮叶片容易损坏，并且修復困难。稳定性稍差，容易有振动的问题。但优点是能够直接取代扩散泵、真空计等，并且较水平式便宜，与真空系统连结时较具弹性，而磁浮轴承式涡轮泵较不受油汙染的威胁。
解决与监测说明
IMS-TP 涡轮泵浦巡检分析仪
对于Turbo Pump磁浮式轴承振动量较小，须以频谱分析作为比较。另外，磁浮式轴承最核心的问题是的是动平衡，例如：转速频率相对较大的就是动平衡不良。我们藉由携带式巡检分析仪器来确保泵浦的品质，并进行预知保养避免发生无预警停机的状况。
量测状况
量测方式：利用转子频谱分析功能进行量测
设备 A / B 在223hz工作转速频比较
设备B 有明显动不平衡现象!
设备A
设备B
测量结论
・TURBO PUMP振动量极小须以频谱分析做为比较
・TURBO PUMP磁浮轴承最重要是动平衡问题，转速频率相对较大就是动平衡不好。
・设备B 在 223RPMS 明显有动不平衡现象，约设备A 振动量的8.6倍。
・无论径向(黏贴、手压)、轴向检测皆发现设备B 明显动不平衡差异建议检测。
IMS-TP 涡轮泵浦巡检分析仪 可以依据厂区及设备属性不同进行分类建立专属地图，并可为设备建立不同数量的量测点位。即时显示地图中设备状态，灯号判读品质状况，藉此提供使用者能即时维护、保养排程的依据。
IMS-TP 涡轮泵浦巡检分析仪
IMS-TP 涡轮泵浦巡检分析仪
适用于各式涡轮泵浦等品质检测
常见问题（FAQ）
Vacuum Dry Pump 为什么需要进行线上监测？
Vacuum Dry Pump 是半导体製程中维持真空环境的重要设备，若泵浦突然故障停机，可能导致真空度不足、大气回灌、particle 过量、晶圆品质异常甚至报废。透过线上监测真空泵转子状态，可提前掌握设备衰退趋势，降低无预警停机风险。
Dry Pump 异常会对半导体製程造成什么影响？
Dry Pump 异常可能造成抽气效率下降、真空度不足、製程气体排放不稳、大气回灌与 particle 过量等问题。这些异常会影响晶圆品质与製程稳定度，严重时可能导致产品报废与产线停机。
如何快速排查 Vacuum Dry Pump 异常原因？
可透过 Dry Pump 线上监测系统长期监测泵浦转子振动状态，并利用 SOA 频谱总量与振动频谱特徵分析判断异常来源。当系统显示警告灯号时，可进一步检查对心不良、机械松动、轴承异常或转子状态变化，缩短维修排查时间。
Dry Pump 转子品质灯号代表什么？
转子品质可依振动值分为 Zone A、Zone B、Zone C 与 Zone D。Zone A 代表新机械或振动品质优良；Zone B 代表可接受并可长时间使用；Zone C 代表不可长时间使用，需安排保养修復；Zone D 则属于异常振动值，建议即刻修復。橘灯通常代表警告，表示设备不适合长时间运转，需进行计画性维修与保养。
Vacuum Dry Pump 出现 1 倍、2 倍或 3 倍转速频率代表什么？
若振动频率主要出现在 1 倍、2 倍或 3 倍转速上，可能与对心不良有关。由于多数不对心属于角度式与平行式混合不对心，振动方向可能同时出现在径向与轴向，因此需要搭配频谱分析判断实际异常型态。
导入 VMS-DP 真空泵浦监测系统有什么效益？
导入 VMS-DP 真空泵浦监测系统后，可透过长期趋势图表掌握真空泵浦转子状态与设备衰退趋势，提前进行预知保养规划。系统也能利用频谱特徵快速排查异常原因，协助缩短维修时间并提升半导体製程稳定性。