TurboPump出現動不平衡?

Turbo Pump 出現動不平衡的現象?

渦輪泵（Turbo Pump) 作動原理
渦輪泵，是利用高速旋轉葉片將動能傳給氣體分子，產生定向流量而抽氣。動片與靜片交替排列，葉片傾斜表方向相反，由十多個動靜葉片組成。渦輪泵以外型可以分為兩大類，垂直氣式（Vertical type）及水平式（Horizontal type）。垂直式較水平式體積小，當有異物掉入泵浦中，渦輪葉片容易損壞，並且修復困難。穩定性稍差，容易有振動的問題。但優點是能夠直接取代擴散泵、真空計等，並且較水平式便宜，與真空系統連結時較具彈性，而磁浮軸承式渦輪泵較不受油污染的威脅。

如何解決

IMS-TP 渦輪泵浦巡檢分析儀
對於Turbo Pump磁浮式軸承振動量較小，須以頻譜分析作為比較。另外，磁浮式軸承最核心的問題是的是動平衡，例如：轉速頻率相對較大的就是動平衡不良。我們藉由攜帶式巡檢分析儀器來確保泵浦的品質，並進行預知保養避免發生無預警停機的狀況。