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Turbo Pump 出現動不平衡的現象？
監診實績｜Turbo Pump 出現動不平衡的現象？#數位轉型
#轉子馬達
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#預知保養
Turbo Pump磁浮軸承最重要是動平衡問題，轉速頻率相對較大就是動平衡不好。該如何進行量測呢？
渦輪泵（Turbo Pump) 作動原理
渦輪泵，是利用高速旋轉葉片將動能傳給氣體分子，產生定向流量而抽氣。動片與靜片交替排列，葉片傾斜表方向相反，由十多個動靜葉片組成。渦輪泵以外型可以分為兩大類，垂直氣式（Vertical type）及水平式（Horizontal type）。
垂直式較水平式體積小，當有異物掉入泵浦中，渦輪葉片容易損壞，並且修復困難。穩定性稍差，容易有振動的問題。但優點是能夠直接取代擴散泵、真空計等，並且較水平式便宜，與真空系統連結時較具彈性，而磁浮軸承式渦輪泵較不受油污染的威脅。
解決與監測說明
IMS-TP 渦輪泵浦巡檢分析儀
對於Turbo Pump磁浮式軸承振動量較小，須以頻譜分析作為比較。另外，磁浮式軸承最核心的問題是的是動平衡，例如：轉速頻率相對較大的就是動平衡不良。我們藉由攜帶式巡檢分析儀器來確保泵浦的品質，並進行預知保養避免發生無預警停機的狀況。
量測狀況
量測方式：利用轉子頻譜分析功能進行量測
設備 A / B 在223hz工作轉速頻比較
設備B 有明顯動不平衡現象!
設備A
設備B
測量結論
・TURBO PUMP振動量極小須以頻譜分析做為比較
・TURBO PUMP磁浮軸承最重要是動平衡問題，轉速頻率相對較大就是動平衡不好。
・設備B 在 223RPMS 明顯有動不平衡現象，約設備A 振動量的8.6倍。
・無論徑向(黏貼、手壓)、軸向檢測皆發現設備B 明顯動不平衡差異建議檢測。
IMS-TP 渦輪泵浦巡檢分析儀 可以依據廠區及設備屬性不同進行分類建立專屬地圖，並可為設備建立不同數量的量測點位。即時顯示地圖中設備狀態，燈號判讀品質狀況，藉此提供使用者能即時維護、保養排程的依據。
IMS-TP 渦輪泵浦巡檢分析儀
IMS-TP 渦輪泵浦巡檢分析儀
適用於各式渦輪泵浦等品質檢測
常見問題（FAQ）
Turbo Pump 為什麼需要監測動平衡？
Turbo Pump（渦輪分子幫浦）利用高速旋轉葉片將動能傳遞給氣體分子以建立真空環境，轉速通常遠高於一般機械設備。若發生動平衡不良，容易造成磁浮軸承負荷增加、振動升高、抽氣效率下降，甚至影響真空製程穩定度，因此需要定期監測其運轉狀態。
Turbo Pump 磁浮軸承最重要的監測項目是什麼？
磁浮軸承 Turbo Pump 最重要的監測項目為動平衡狀態。當轉速頻率振幅明顯增加時，通常代表轉子質量分布不均或葉片受損，進而造成設備振動異常與運轉品質下降。
為什麼 Turbo Pump 需要使用頻譜分析？
由於 Turbo Pump 本身振動量相當小，若僅觀察整體振動值較難辨識異常。因此通常需要透過 FFT 頻譜分析觀察各頻率成分變化，才能準確找出動平衡不良、轉速異常或特定頻率問題。
Turbo Pump 動平衡不良會產生哪些風險？
動平衡不良可能造成振動增加、軸承負載升高、葉片磨耗、真空效率下降及設備壽命縮短。若異常持續惡化，可能導致製程不穩定、真空品質下降，甚至造成設備停機。
IMS-TP 如何協助 Turbo Pump 巡檢？
IMS-TP Turbo Pump 巡檢分析儀可依照設備型號、轉速與量測位置建立巡檢地圖與管理標準。透過量測數據與頻譜分析結果，可快速判斷設備健康狀態並規劃後續保養工作。
導入 Turbo Pump 預知保養有什麼效益？
透過定期巡檢與動平衡監測，可提早發現轉子異常、葉片損傷與磁浮軸承問題，降低無預警停機風險，延長設備使用壽命，並提升半導體真空製程穩定度與生產品質。
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