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DRYPUMP真空泵浦
监测解决方案

固德科技报｜DRYPUMP真空泵浦监测解决方案

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#半导体领域

#转子马达

#预知保养

Posted On : 20 Dec. 2018
使用者常常困扰泵浦发生的培林端漏油、泵浦卡粉等问题，导致泵浦提前损坏。所以使用者会将到达运转预定时数的真空泵浦一律通通送交保养，其中可能也因此为了保养良品造成了不必要的浪费。

Drypump 真空泵浦

随着半导体代工与 LCD 面板製造业等市场需求提升，真空设备 Drypump 真空泵浦被大量运用于医疗、化工、机械、半导体製造业等。使用者常常困扰泵浦发生的培林端漏油、泵浦卡粉等问题，导致泵浦提前损坏。所以使用者会将到达运转预定时数的真空泵浦一律通通送交保养，其中可能也因此为了保养良品造成了不必要的浪费。

以半导体製造为例，真空泵浦为炉管的重要元件，内含转子电机、鲁氏泵浦等。虽然原厂会提供相关的监测系统，但功能仅涵盖压力、流量、温度及电流，无法真正瞭解泵浦健康状况。即便使用者将设备送交保养，设备回厂后也仅以电流作为验收依据，无法切确了解保养成效。 ＃Drypump 真空泵浦 ＃半导体製造业

了解真空泵浦的健康状态

固德推出真空泵浦品质检测解决方案，帮助使用者了解真空泵浦的健康状态。监测目的在于
1. 预防真空泵浦在预定保养时间前提前老化，造成运作效率不良的问题。
2. 预防因为泵浦卡粉，造成机械损坏造成卡死甚至无预警停机。
3. 预防培林端漏油、劣化，导致泵浦提前损坏。
4. 运转中的良品延长工作时数，拉长定期保养时间，有数据化的降低运转维护成本。
5. 送交保养的回厂设备是否有达到保养需求规格，确保委外的保养效益。

三种规范同步监测

ISO、BROAD BAND、SOA（Spectrum Overall Value）
三种规范同步监测，内建ISO规范，利用 ISO10816 管理转子机械振动品质评估，并将结果判定分为优良、正常、警告、危险。让使用者可藉此评鑑转子部件健康状态，来提升维护以及预知保养的工作。

BROAD BAND 数值管理确认设备振动基准值，根据不同机械种类分类（马力、马达与负载连接形式、转子种类、刚性或饶性结构，使用该种类指定之特定频宽，并滤除频宽内特定频段，依需求将规定振动物理量之振幅以 0-PEAK、Peak to Peak、RMS 值呈现，SOA 振动量超过基准值判定设备状态，还可藉由 FFT 振动频谱特徵了解各种损坏部位与机械异常原因。

长时间监测有效控管 DRYPUMP 品质

固德推出的 DRYPUMP 真空泵浦监测解决方案利用量测Drypump内藏的培林端部位的振动讯号，来评鑑 Drypump 的健康状况。并结合 IIoT 长时间监控 Drypump 品质以达到预知保养、提前维护、避免无预警停机的情况发生。以清楚简单的方式呈现给使用者，方便使用者整合资讯即时了解设备状态并降低维护成本。