Mọi biến động nhỏ đều có thể gây lỗi sản phẩm
Tại sao cần thiết?
Tại sao thiết bị Die Bonder cần giám sát hạt bụi?
Nồng độ hạt bụi quá cao bên trong thiết bị Die Bonder có thể gây ra nhiều vấn đề, bao gồm suy giảm chất lượng sản phẩm, sự cố vận hành thiết bị, vấn đề tĩnh điện và các rủi ro về an toàn môi trường.
Các hạt bụi bám trên bề mặt phôi hoặc vật liệu có thể gây ra các khuyết tật như vết xước, điểm dị vật hoặc lớp phủ không đồng đều, từ đó ảnh hưởng đến hiệu suất sản phẩm. Hạt bụi cũng có thể xâm nhập vào các bộ phận nhạy cảm của thiết bị như linh kiện quang học hoặc cảm biến, gây sai số hoặc hư hỏng thiết bị. Ngoài ra, tĩnh điện có thể làm gia tăng sự tích tụ của hạt bụi, tạo thành một vòng tuần hoàn bất lợi, thậm chí gây phóng tĩnh điện và làm hư hỏng linh kiện.
Tại sao cần thiết?
Nồng độ hạt bụi quá cao bên trong thiết bị có thể gây lỗi quy trình sản xuất!
Trong quy trình đóng gói CoWoS, các hạt bụi bám trên chip có thể gây nhiễu hoạt động của linh kiện điện tử, làm giảm hiệu quả truyền nhiệt và ảnh hưởng nghiêm trọng đến chất lượng sản phẩm.
Sự thay đổi nhiệt độ nhanh chóng có thể gây ra hiện tượng giãn nở nhiệt không đồng đều bên trong thiết bị, từ đó ảnh hưởng đến độ ổn định kích thước hoặc khiến linh kiện bị lỏng hay bong ra.
Độ ẩm cao cũng có thể gây ngưng tụ hơi nước trên bề mặt wafer, dẫn đến sự thay đổi của lớp oxide trên Die và ảnh hưởng đến hiệu suất của chip.
Particles-IoT chủ yếu được sử dụng để giám sát và quản lý số lượng cũng như nồng độ hạt bụi bên trong thiết bị Die Bonder, giúp ngăn ngừa lỗi sản phẩm hoặc sự cố thiết bị do nồng độ hạt bụi quá cao.
Theo thời gian, số lượng hạt bụi sẽ dần tích tụ và gia tăng
Tại sao cần thiết?
Ngăn ngừa khuyết tật và đảm bảo chất lượng sản phẩm!
Trong quy trình đóng gói CoWoS, nếu các hạt bụi (chấm màu cam) bên trong Die Bonder rơi vào mặt sau của Die (Die Backside) hoặc trên Bond Pad, các hạt này có thể khiến vật liệu kết dính không thể trải đều, từ đó hình thành các túi khí (Void) xung quanh. Điều này có thể làm gián đoạn đường truyền nhiệt và dẫn đến “giảm hiệu suất tản nhiệt”.
Thông qua việc giám sát nồng độ hạt bụi bằng hệ thống IoT giám sát hạt bụi, doanh nghiệp có thể hỗ trợ ngăn ngừa tình trạng tắc kim, sự phân bố keo bất thường và hình thành khoảng rỗng (Void), qua đó đảm bảo khả năng truyền nhiệt và kết nối điện ổn định.
Khi đầu hút chính xác của Die Bonder thực hiện thao tác lấy và đặt chip (Pick & Place), các hạt bụi có thể hoạt động giống như vật liệu mài mòn. Nếu số lượng hạt bụi quá nhiều, chúng có thể gây mài mòn đầu hút và làm biến dạng hình dạng đầu hút. Khi đó, đầu hút không thể hút chính xác vào tâm của Die, dẫn đến Die bị nghiêng hoặc sai lệch vị trí đặt. Thậm chí, trong quá trình Pick & Place, các hạt bụi có thể bị kẹp giữa đầu hút và Die, gây ra “trầy xước (Scratches)” và “sứt mẻ bề mặt wafer (Chipping)”.
Ứng dụng IoT giám sát hạt bụi giúp ngăn ngừa tình trạng mài mòn đầu hút và trầy xước Die do hạt bụi gây ra.
Tại sao cần thiết?
Nâng cao tỷ lệ thành phẩm và độ tin cậy của quy trình Flip Chip!
Trong quy trình đóng gói CoWoS, khi thực hiện căn chỉnh và liên kết Die với độ chính xác cao (Alignment & Bonding) bằng Flip Chip Bonder, nếu môi trường có quá nhiều hạt bụi, chúng rất dễ bám lên bề mặt Die hoặc substrate.
Trong quá trình ép liên kết, các hạt bụi này có thể bị kẹp giữa bump và substrate, khiến tiếp xúc không hoàn toàn, từ đó gây hở mạch (Open) hoặc tiếp xúc điện kém, ảnh hưởng đến hiệu suất điện tổng thể của cấu trúc đóng gói mật độ cao.
Hệ thống IoT giám sát hạt bụi giúp theo dõi xu hướng biến động ô nhiễm, ngăn hạt bụi xâm nhập vào các bề mặt liên kết quan trọng, từ đó giảm nguy cơ lỗi điện và nâng cao tỷ lệ thành phẩm cũng như độ tin cậy của quy trình Flip Chip.
Đặc điểm nổi bật
Chuyên dùng giám sát môi trường máy đóng gói
Particles-IoT với các ưu điểm:
1. Thuật toán thông minh, đo chính xác trong mọi môi trường.
2. Điều khiển PID đảm bảo lưu lượng hút không đổi.
3. Thiết kế chống ngắt kết nối (bảo vệ kép).
4. Cảnh báo mất tín hiệu.
5. Linh hoạt mở rộng điểm giám sát.
6. Hỗ trợ hiệu chuẩn hệ số nguồn chuẩn.
7. Nguồn laser công nghiệp độ tin cậy cao.
8. Hiển thị thời gian thực số lượng và cấp độ vi hạt.
Đặc điểm nổi bật
Trạng thái giám sát thời gian thực rõ ràng trong nháy mắt
Hệ thống IoT giám sát hạt vi mô Particles-IoT được thiết kế để giám sát các hạt vi mô trong thời gian dài đối với thiết bị cấp liệu (loader). Hệ thống phân biệt tất cả trạng thái dữ liệu bằng đèn báo và hiển thị đồng nhất trên màn hình chính. Nó có thể phát hiện số lượng hạt trên sáu kênh: 0.3 μm, 0.5 μm, 1.0 μm, 3.0 μm, 5.0 μm và 10 μm. Đèn xanh lá cây biểu thị bình thường, đèn cam biểu thị cảnh báo (ngưỡng 1), đèn đỏ biểu thị bất thường (ngưỡng 2) và đèn xám biểu thị chưa thực hiện giám sát. Chỉ cần nhấp vào các tab để chuyển đổi nhanh và xem chất lượng trạng thái hiện tại.
Bình thường Các giá trị nằm trong phạm vi bình thường.
Cảnh báo Khuyến nghị sắp xếp thời gian để kiểm tra hoặc bảo trì làm sạch.
Bất thường Giá trị bất thường có thể gây ra lỗi trong quá trình sản xuất.
Ngoại tuyến Thiết bị hoặc cảm biến đang trong trạng thái mất kết nối.
Đặc điểm nổi bật
Lưu trữ dữ liệu lên đến 2 năm
Bạn vẫn đang lãng phí thời gian tổng hợp các báo cáo thống kê dữ liệu?
Các yếu tố môi trường khác nhau cần được thu thập trong thời gian dài để quan sát sự thay đổi, đồng thời cần có các bản ghi dữ liệu và báo cáo chi tiết để phục vụ cho việc truy xuất nguồn gốc và kiểm toán. Giờ đây, việc sắp xếp những dữ liệu này không còn tốn nhiều thời gian nữa. Hệ thống IoT hạt vi mô hỗ trợ lưu trữ dữ liệu dài hạn, bao gồm thống kê xu hướng toàn khu vực và truy vấn xu hướng tại một điểm đơn lẻ. Ngoại trừ việc tải xuống dữ liệu gốc bị giới hạn trong 6 giờ, các báo cáo giá trị tối đa/tối thiểu có thể được tải xuống nhanh chóng bằng cách nhấp chọn theo giờ, ngày, tháng, năm hoặc khoảng thời gian tùy chỉnh.
Đặc điểm nổi bật
Ngưỡng tùy chỉnh kép cho từng giá trị
Người dùng có thể tự thiết lập giới hạn trên và dưới cho ngưỡng hạt vi mô. Ngay khi các thông số môi trường vượt quá phạm vi đã đặt, hệ thống sẽ lập tức gửi thông báo cảnh báo qua email và hiển thị trên màn hình chính để đảm bảo phản hồi nhanh chóng.
Ngoài ra, hệ thống này còn được trang bị chức năng ngưỡng kép trên và dưới. Bằng cách thiết lập ngưỡng đầu tiên, hệ thống sẽ phát ra cảnh báo để người dùng có thể bắt đầu lên kế hoạch hoặc khắc phục sự cố sớm, từ đó tránh được sự xuất hiện của các báo động đỏ bất thường.
Nguyên lý
Bơm hút ổn định
Đầu ra 6 kênh kích cỡ hạt
Nguyên lý hoạt động
Laser cấp công nghiệp độ tin cậy cao, đảm bảo độ chính xác của phép đo
Cảm biến hạt vi mô hút không khí vào để lấy mẫu thông qua quạt tuabin 28.3 L/min. Khi các hạt trong không khí đi qua chùm tia laser, hiện tượng tán xạ ánh sáng sẽ xảy ra, ánh sáng tán xạ được chuyển đổi thành tín hiệu điện thông qua bộ phận cảm quang.
Các kích thước hạt khác nhau tạo ra cường độ tín hiệu xung khác nhau; hạt càng lớn thì tín hiệu xung càng mạnh. Bằng cách phân tích cường độ và số lượng xung, hệ thống có thể xác định số lượng hạt ở các kích thước khác nhau.
Toàn bộ quy trình phát hiện như sau: Lấy mẫu không khí → Hạt đi qua tia laser → Tạo ra ánh sáng tán xạ → Bộ phận cảm quang tiếp nhận → Khuếch đại và lọc tín hiệu điện → MCU phân tích → Xuất số lượng hạt theo từng kích thước
Phạm vi ứng dụng
Phù hợp cho quy trình sản xuất chính xác
Lĩnh vực ứng dụng: Bán dẫn, sản xuất pin năng lượng, công nghệ sinh học, phòng thí nghiệm, dược phẩm, thực phẩm, màn hình LCD, cơ khí chính xác...
Khi nồng độ vi hạt quá cao, ví dụ trong sản xuất pin, nếu hạt bám vào lớp vật liệu hoạt tính có thể gây đoản mạch, giảm dung lượng hoặc gây cháy nổ (thoát nhiệt).
Độ chính xác: Mọi biến động nhỏ đều có thể gây lỗi sản phẩm.
Tuân thủ quy định: Đảm bảo quy trình sản xuất trong môi trường được kiểm soát.
Kiểm soát ô nhiễm: Ngăn nhiệt độ, độ ẩm và vi hạt ảnh hưởng trực tiếp đến an toàn.
Chất lượng sản phẩm: Tránh ảnh hưởng bề mặt gia công, giảm tỷ lệ phế phẩm.
Kiến trúc hệ thống
Giám sát đơn máy, cảnh báo tức thì
Module đơn máy (Standalone):
Lắp đặt nhanh chóng, có cảnh báo ngắt kết nối (tích hợp trực tiếp với còi báo).
Màn hình màu 3.5 inch hiển thị dữ liệu thời gian thực.
Có thể kết nối trực tiếp với đèn/còi báo động.
Kiến trúc hệ thống
Kết nối đơn máy, phù hợp tuần tra và phân tích ngắn hạn


Phiên bản tuần tra:
Sử dụng cáp mạng kết nối với máy tính bảng công nghiệp để thu thập dữ liệu ngắn hạn và xem biểu đồ xu hướng. Linh hoạt di chuyển giữa các máy để kiểm tra định kỳ. Người dùng có thể tự thiết lập ngưỡng cảnh báo kép để giám sát chính xác hơn.
Kiến trúc hệ thống
Giám sát IoT tập trung toàn nhà máy





Các câu hỏi thường gặp (FAQ)
IoT giám sát vi hạt Particles IoT là gì?
Particles IoT là hệ thống giám sát môi trường được sử dụng để giám sát nồng độ vi hạt, nhiệt độ và độ ẩm bên trong máy móc. Nó giúp các doanh nghiệp kiểm soát chất lượng môi trường của quy trình, tránh các khuyết tật sản phẩm, bất thường của thiết bị hoặc sự suy giảm độ ổn định của quy trình do nồng độ vi hạt quá cao.
Tại sao cần phải giám sát nồng độ vi hạt bên trong máy móc?
Khi nồng độ vi hạt bên trong máy quá cao, các hạt có thể bám vào bề mặt chip, phôi gia công hoặc vật liệu, gây ra các vấn đề như vết xước, đốm vật thể lạ, lớp phủ không đều, sai lệch căn chỉnh hoặc ô nhiễm linh kiện, từ đó ảnh hưởng đến tỷ lệ đạt chuẩn của sản phẩm và độ ổn định của thiết bị.
Particles IoT phù hợp với những ngành công nghiệp nào?
Particles IoT phù hợp cho đóng gói bán dẫn, sản xuất chính xác, pin năng lượng, công nghệ sinh học, dược phẩm, thực phẩm, tấm nền LCD, phòng thí nghiệm và các môi trường quy trình có độ sạch cao khác đòi hỏi phải kiểm soát vi hạt, nhiệt độ và độ ẩm.
Support
Các vấn đề liên quan đến IoT khác