Mọi biến động nhỏ đều có thể gây lỗi sản phẩm
Tại sao cần?
Tại sao máy Loader cần giám sát vi hạt?
Nồng độ vi hạt cao trong máy Loader gây giảm chất lượng sản phẩm, lỗi vận hành, vấn đề tĩnh điện và rủi ro an toàn môi trường.
Vi hạt bám trên bề mặt phôi gây trầy xước, dị vật hoặc lớp phủ không đều, ảnh hưởng hiệu suất; chúng cũng có thể xâm nhập bộ phận nhạy cảm như cảm biến, linh kiện quang học gây sai số hoặc hư hỏng. Ngoài ra, tĩnh điện làm tích tụ vi hạt, tạo vòng lặp xấu gây phóng tĩnh điện hỏng linh kiện.
Tại sao cần?
Lỗi sản xuất do nồng độ vi hạt trong máy quá cao!
Trong quy trình đóng gói CoWoS, bụi bám trên chip sẽ cản trở hoạt động linh kiện, giảm hiệu suất truyền nhiệt, ảnh hưởng nghiêm trọng đến chất lượng.
Thay đổi nhiệt độ đột ngột gây giãn nở nhiệt không đều, ảnh hưởng độ ổn định kích thước hoặc làm bong tróc linh kiện.
Độ ẩm cao gây ngưng tụ hơi nước trên bề mặt wafer, làm thay đổi lớp oxy hóa trên Die, ảnh hưởng hiệu suất chip...
Particles-IoT chuyên quản lý nồng độ vi hạt trong máy Loader, ngăn ngừa lỗi sản phẩm hoặc sự cố thiết bị do vi hạt vượt mức.
Số lượng vi hạt tích tụ tăng dần theo thời gian
Đặc điểm nổi bật
Chuyên dùng giám sát môi trường máy đóng gói
Particles-IoT với các ưu điểm:
1. Thuật toán thông minh, đo chính xác trong mọi môi trường.
2. Điều khiển PID đảm bảo lưu lượng hút không đổi.
3. Thiết kế chống ngắt kết nối (bảo vệ kép).
4. Cảnh báo mất tín hiệu.
5. Linh hoạt mở rộng điểm giám sát.
6. Hỗ trợ hiệu chuẩn hệ số nguồn chuẩn.
7. Nguồn laser công nghiệp độ tin cậy cao.
8. Hiển thị thời gian thực số lượng và cấp độ vi hạt.
Đặc điểm nổi bật
Trạng thái trực quan, dễ dàng theo dõi
Particles-IoT giám sát dài hạn nhiệt độ, độ ẩm và vi hạt của máy Loader. Hệ thống phân loại trạng thái bằng đèn màu:
Bình thường Chỉ số trong mức an toàn.
Cảnh báo Cần kiểm tra hoặc bảo trì sớm.
Bất thường Có nguy cơ gây lỗi sản phẩm.
Ngoại tuyến Thiết bị mất kết nối.
Đặc điểm nổi bật
Lưu trữ dữ liệu lên đến 2 năm
Tiết kiệm thời gian làm báo cáo thống kê. Particles-IoT hỗ trợ lưu trữ dữ liệu nội bộ trong 2 năm, giúp truy xuất nguồn gốc dễ dàng. Hệ thống tự động xuất biểu đồ xu hướng theo ngày, tuần, tháng cho mục đích quản lý chất lượng.
Đặc điểm nổi bật
Tùy chỉnh ngưỡng cảnh báo kép
Người dùng tự thiết lập ngưỡng trên/dưới cho nhiệt độ và độ ẩm. Hệ thống gửi Email cảnh báo tức thì khi thông số vượt ngưỡng. Với tính năng cảnh báo kép, bạn có thể xử lý sớm ngay từ mức cảnh báo đầu tiên để ngăn chặn sự cố nghiêm trọng.
Nguyên lý
Bơm hút ổn định
Đầu ra 6 kênh kích cỡ hạt
Nguyên lý
Laser công nghiệp độ chính xác cao
Sử dụng nguồn laser bán dẫn
Không khí được lấy mẫu qua bơm hút. Khi vi hạt đi qua chùm tia laser, hiện tượng tán xạ ánh sáng xảy ra. Cảm biến quang điện chuyển đổi ánh sáng tán xạ thành xung điện. Kích thước hạt càng lớn thì biên độ xung càng cao. Qua đó, hệ thống xác định chính xác số lượng và kích thước hạt.
Phạm vi ứng dụng
Phù hợp cho quy trình sản xuất chính xác
Lĩnh vực ứng dụng: Bán dẫn, sản xuất pin năng lượng, công nghệ sinh học, phòng thí nghiệm, dược phẩm, thực phẩm, màn hình LCD, cơ khí chính xác...
Khi nồng độ vi hạt quá cao, ví dụ trong sản xuất pin, nếu hạt bám vào lớp vật liệu hoạt tính có thể gây đoản mạch, giảm dung lượng hoặc gây cháy nổ (thoát nhiệt).
Độ chính xác: Mọi biến động nhỏ đều có thể gây lỗi sản phẩm.
Tuân thủ quy định: Đảm bảo quy trình sản xuất trong môi trường được kiểm soát.
Kiểm soát ô nhiễm: Ngăn nhiệt độ, độ ẩm và vi hạt ảnh hưởng trực tiếp đến an toàn.
Chất lượng sản phẩm: Tránh ảnh hưởng bề mặt gia công, giảm tỷ lệ phế phẩm.
Kiến trúc hệ thống
Giám sát đơn máy, cảnh báo tức thì
Module đơn máy (Standalone):
Lắp đặt nhanh chóng, có cảnh báo ngắt kết nối (tích hợp trực tiếp với còi báo).
Màn hình màu 3.5 inch hiển thị dữ liệu thời gian thực.
Có thể kết nối trực tiếp với đèn/còi báo động.
Kiến trúc hệ thống
Kết nối đơn máy, phù hợp tuần tra và phân tích ngắn hạn


Phiên bản tuần tra:
Sử dụng cáp mạng kết nối với máy tính bảng công nghiệp để thu thập dữ liệu ngắn hạn và xem biểu đồ xu hướng. Linh hoạt di chuyển giữa các máy để kiểm tra định kỳ. Người dùng có thể tự thiết lập ngưỡng cảnh báo kép để giám sát chính xác hơn.
Kiến trúc hệ thống
Giám sát IoT tập trung toàn nhà máy




