Support

Làm thế nào để ngăn ngừa wafer bị trầy xước trong quá trình vận chuyển?

Thực tế giám sát｜ Làm thế nào để ngăn ngừa wafer bị trầy xước trong quá trình vận chuyển?

Cánh tay robot vận chuyển wafer (Wafer Robot) nếu xuất hiện rung động bất thường trong quá trình vận chuyển có thể gây ra hiện tượng trầy xước, va chạm wafer. Làm thế nào để phát hiện sớm và phòng ngừa, tránh wafer bị hư hỏng và phải loại bỏ?

Cánh tay robot chuyên dụng cho vận chuyển wafer

Cánh tay robot wafer chủ yếu được ứng dụng trong các công đoạn tiền xử lý của quy trình sản xuất bán dẫn, có thể thay thế con người trong việc vận chuyển wafer. Do chi phí wafer rất cao, người sử dụng đặc biệt coi trọng độ ổn định của cánh tay robot trong quá trình truyền tải.

Về mặt cấu trúc, cánh tay robot wafer thường được thiết kế với nhiều trục chuyển động, giúp thiết bị có thể vận chuyển wafer một cách chính xác và ổn định trong không gian hẹp. Tuy nhiên, nếu trong quá trình vận chuyển xuất hiện rung động bất thường, chất lượng wafer sẽ bị ảnh hưởng nghiêm trọng, dễ dẫn đến trầy xước hoặc va chạm wafer.

Do cánh tay robot wafer có đặc tính chuyển động đa trục, vậy làm thế nào để thực hiện giám sát và đánh giá trạng thái vận hành một cách hiệu quả?

Giải pháp ＆ mô tả giám sát

Hệ thống giám sát thông minh học máy VMS-ML
Thông qua hệ thống VMS-ML, các tín hiệu động học phát sinh trong quá trình vận chuyển wafer của cánh tay robot sẽ được học và chuẩn hóa. Hệ thống không cần kết nối trực tiếp với hệ điều khiển của thiết bị, chỉ cần lắp đặt một cảm biến là có thể bắt đầu thu thập và học tín hiệu động.

Thông qua việc đo lường và phân tích, hệ thống có thể nhanh chóng xác định sự thay đổi trạng thái ở từng giai đoạn vận chuyển, từ đó hỗ trợ phát hiện sớm rung động bất thường và triển khai bảo trì dự đoán, giúp giảm thiểu nguy cơ trầy xước hoặc va chạm wafer.