Support

Làm thế nào để xác nhận độ ổn định của thiết bị trong quy trình coating (phủ màng)?

Thực tế giám sát｜ Làm thế nào để xác nhận độ ổn định của thiết bị trong quy trình coating?

Trong quy trình phủ màng (coating) của ngành bán dẫn, nếu thiết bị xuất hiện rung động bất thường, rất dễ dẫn đến hiện tượng phủ không đồng đều. Vậy làm thế nào có thể thông qua thiết bị đo lường để xác nhận độ ổn định của quy trình sản xuất?

Các phương pháp phủ màng

Các phương pháp phủ màng có thể được chia thành hai nhóm chính: phủ màng khô (dry coating) và phủ màng ướt (wet coating).

Thông thường, các kỹ thuật phủ màng dựa trên quá trình coating được ứng dụng rộng rãi trong sản xuất công nghiệp. Trong đó, phủ màng ướt không yêu cầu môi trường chân không, phù hợp với sản xuất hàng loạt và tốc độ cao, nên được sử dụng phổ biến trong nhiều lĩnh vực công nghiệp.

Dung dịch coating được phủ đều lên bề mặt vật liệu nền, sau đó trải qua quá trình sấy và phản ứng hóa học để hình thành lớp màng mỏng rắn có tính ổn định.

Nguyên lý của máy phủ quay (Spin Coater)
Phủ quay (spin coating) thuộc nhóm phủ màng ướt (wet coating). Vật liệu nền (như wafer silicon hoặc các bề mặt nhẵn khác) được cố định bằng phương pháp hút chân không. Dung dịch coating được nhỏ vào trung tâm bề mặt, sau đó nhờ lực ly tâm sinh ra trong quá trình quay, dung dịch được phân bố đều trên bề mặt và phần dư thừa sẽ nhanh chóng bị văng ra ngoài, tạo thành một lớp màng mỏng đồng đều.

Tốc độ quay, thời gian quay và tốc độ sấy khô đều là những yếu tố quan trọng ảnh hưởng trực tiếp đến độ dày của lớp màng. Ngoài ra, nếu trong quá trình sản xuất thiết bị xuất hiện rung động bất thường, rất dễ gây ra hiện tượng phủ không đồng đều, ảnh hưởng đến chất lượng sản phẩm.

Giải pháp và mô tả giám sát

VMS-PH – Thiết bị phân tích chất lượng động của thiết bị
Vì vậy, chúng tôi sử dụng chức năng phân tích động của VMS-PH để đo lường trạng thái vận hành tốc độ quay của máy coating cũng như nozzle của thiết bị. Thông qua việc so sánh tín hiệu rung động trong quá trình vận hành ở các tốc độ quay khác nhau, có thể xác định mức độ ổn định của quy trình sản xuất.

Các dữ liệu này được sử dụng làm tiêu chuẩn giám sát cho từng hành động riêng lẻ, giúp hệ thống xác định chính xác giai đoạn hoặc chuyển động nào của thiết bị xuất hiện bất thường hoặc mất ổn định. Nhờ đó, có thể triển khai bảo trì dự đoán (predictive maintenance) sớm, tránh các sự cố phát sinh không báo trước.