研磨主軸影響
晶圓片品質?

晶圓研磨主軸該如何執行量測?

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#半導體領域

#轉子馬達

#預知保養

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半導體研磨製程
半導體研磨製程是半導體製造中的一個重要步驟，通常用於微細化和平整化半導體晶片上的不同層次。半導體研磨的主要目的是製造薄型的晶片層，並確保層之間的平整度和表面品質。尤其以先進封裝技術需要更好的散熱性能，而研磨可以幫助製造更薄的晶片，同時提高散熱性能，改進電子元件的性能。

研磨製程使用研磨機械設備，其中包括研磨盤、主軸、磨料等元件。這些機械設備能夠以高精度控制的方式將晶片表面進行微細研磨。而研磨設備中，研磨主軸和主軸馬達是兩個重要的元件，它們之間的關係對於研磨的效果和製程穩定性至關重要。

研磨主軸的運動需要高度的精確控制，以確保研磨過程中的精度和表面品質。主軸馬達應能夠提供精確的速度和位置控制，以確保主軸能按照預定的參數進行運動。研磨過程中的振動可能對最終產品的品質產生不良影響。良好的馬達應具有低振動和高穩定性，以確保研磨主軸在運動過程中保持平穩。

因此我們藉由管理主軸來確保研磨品質，由於主軸是設備中的核心，具有護蓋保護，量測時若將感測器貼於主軸上，容易會有背景值的干擾，該如何執行量測?

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如何量測

VMS-PH設備動態分析儀/VMS-RM轉子品質管理系統
利用VMS-PH設備動態分析儀分別在有無負載的狀況下運行，找出最適合安裝感測器的量測位置，並藉由VMS-RM轉子品質管理系統 長時間監測了解設備狀態進行趨勢化管理及預知保養的依據。