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环境微振动对Laser Grooving机台的影响？

监诊实绩｜环境微振动对 Laser Grooving 机台的影响？

环境微振动对于高精密度制造设备的影响不容忽视，小小的振动都可能会导致激光焦点偏移，影响刻槽的精度。该如何确保品质运作？

激光刻槽（Laser Grooving）

激光刻槽（Laser Grooving）是一种利用高能量激光束在材料表面进行精密加工的方法。这种技术广泛应用于半导体制造、微电子元件加工、太阳能电池制造以及其他需要高精度加工的领域。

Laser Grooving 的应用
• 半导体制造：在晶圆加工过程中，用于形成微细结构，如芯片的分割、电路图形的刻画等。
• 微电子元件加工：制造印刷电路板（PCB）中的微小通孔和导线图形。
• 太阳能电池制造：在太阳能电池片上形成导电图形，提高电池效率。
• 其他精密加工领域：包括医疗设备、航空航天元件和高精度机械零件的制造。

Laser Grooving 的基本作动原理
激光刻槽技术利用高能量的激光束，将其聚焦到材料表面，使材料在高能量密度的作用下快速熔化、汽化或升华，从而去除材料，形成精确的刻槽。这个过程通常是非接触式的，避免了传统机械加工带来的机械应力和磨损。

Laser Grooving 的挑战

小小的振动都可能会导致激光焦点偏移，影响刻槽的精度。这会导致产品尺寸不符合设计要求，导致加工精度降低，进而影响产品的性能和可靠性。而振动会不仅可能会在加工表面产生微小的波纹或不规则性，导致表面粗糙度增加，影响产品的光学或机械性能。频繁的微振动可能会迫使机台运行速度降低，直接影响生产效率。

此外，持续的微振动会增加机台的磨损和疲劳，缩短其使用寿命，增加维护和更换的成本。

微振动的影响
1. 加工精度降低：微振动会导致激光焦点偏移，影响刻槽的精度。这会导致产品尺寸不符合设计要求，进而影响产品的性能和可靠性。
2. 表面质量变差：振动会在加工表面产生微小的波纹或不规则性，导致表面粗糙度增加，影响产品的光学或机械性能。
3. 生产效率降低：频繁的微振动可能会迫使机台运行速度降低，以确保加工质量，这会直接影响生产效率。
4. 设备寿命缩短：持续的微振动会增加机台的磨损和疲劳，缩短其使用寿命，增加维护和更换的成本。

如何检测？

VMS-PH 设备动态品质分析仪
利用 VMS-PH 设备动态分析仪于多点进行量测，以X、Y、Z三轴方向同时量测，并对照VC-Curve为振动检测标准，了解设备的与环境振动的关系。