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PVD 制程中的设备状态该如何掌握及量测？
监诊实绩｜PVD 制程中的设备状态该如何掌握及量测？Pvd，物理气象沉积，工业制造里镀膜技术的一种。要营造一个良好的制程环境，才能够有效提高产线良率。而PVD制程所需要的设备状态该如何掌握及量测？
物理气象沉积 Physical vapor deposition
Pvd，物理气象沉积 英文：Physical vapor deposition，工业制造里镀膜技术的一种，主要利用物理方式来加热或激发出材料过程来沉积薄膜的技术，物理方式是指物质的相变化现象。在半导体制程中属于表面处理制程，通常在真空下加工进行。例如：蒸镀源由固体变成气体，然后凝结在晶圆表面上。
PVD方法分为蒸镀（Evaporative PVD）、溅镀（Sputtering PVD）、离子镀（Ion plating PAPVD）。显示面板及触控面板的生产工艺也皆使用PVD镀膜方式。由于在PVD薄膜沉积所需要的是一个完美的真空环境，因此在各设备上更需要做详细的检测与监测。
解决与监测说明
VMS-PH 携带式量测分析仪
对于要营造一个良好的制程环境，有效提高产线良率。而PVD制程所需要的设备状态该如何掌握及量测呢？在此我们藉由量测PVD制程中的磁性油封、减速机、真空腔体、马达等，来实际量测比较结果，从中了解设备状态。
把量测到的数值直接转换成可以直观形象理解的图形或图像表示方式，进而发现制程隐含的讯息做为日后线上监控的依据。进行设备的巡检监测及预知保养，避免制程中无预警停机或异常的发生。
量测状况
PVD 磁性油封实际量测
磁性油封是由静环与动环两部分组合而成，运用磁力技术，采用机封理念，全浮动密封面结构。
PVD磁性油封设备A/B/C正转逆动态分析比较
磁性油封设备 B/C 被同颗马达带动下，磁性油封设备C 正转时振动量较高。
磁性油封设备 A 正逆转皆有跳动磨损讯号产生需再观察。
通常会产生漏油异常的原因：
油封不良：制造质量不佳，有缺口、或弹簧过松等。保养处置：更换油封或调整油封弹簧等。
装置不良：工作磨损严重、呈现无光泽、灰尘等。保养处置：更换油封、润滑清洁等。
PVD 减速机实际量测
减速机是设备中重要的驱动部分，是由透过齿轮等装置来降速或增大转矩，传动零件、轴承、主轴、箱体及其附件所组成。
减速机 设备A/B/C正转逆 动态分析比较
空跑状态
制程状况
减速机设备 B 正逆转差异比较明显，后续须注意其变化。
PVD 真空腔体实际量测
减真空腔体，英文Vacuum chamber，因接真空泵浦让腔体维持真空状态，借以进行物理实验或进行镀膜。
将感测器贴于Chamber4下方部件位置，相同量测点，量测 A 与 B 并比较其差异性
设备 A 所测得的动态讯号较设备 B 来得不规律。
→ 由测得的动态讯号可证明设备 A 内确实有机构造成异常震动。
测试结果设备 B PVD阀门作动造成的振动较设备 A 大。
→ 比较得知设备 B 虽相对规律，但其闸门开关所产生的震动大于设备 A ，建议进一步长期观测其健康状况。
OIL PUMP 实际量测
测量结论
对于要营造一个良好的制程环境，有效提高产线良率，必须要掌握设备状态。针对各式设备问题可利用 VMS-PH 携带式量测分析仪快速进行检测。并将其异常特征搜集起来，日后可作线上监控的依据。
VMS-PH 携带式量测分析仪
VMS-PH 携带式量测分析仪
有效提高产线良率，掌握设备状态
常见问题（FAQ）
PVD 製程为什么需要掌握设备状态？
PVD 物理气相沉积製程通常在真空环境下进行，製程稳定度会受到磁性油封、减速机、真空腔体、马达与 Oil Pump 等设备状态影响。若设备出现异常振动、磨耗或真空腔体作动不稳，可能影响镀膜品质、製程良率与产线稼动率，因此需要透过量测掌握设备状态。
VMS-PH 如何协助 PVD 製程设备量测？
VMS-PH 携带式量测分析仪可针对 PVD 製程中的磁性油封、减速机、真空腔体与马达等关键部位进行动态讯号量测，并将量测数据转换为直观图形，协助工程人员判断设备是否存在异常振动、磨耗、作动不规律或潜在故障风险。
PVD 磁性油封异常会造成什么问题？
PVD 磁性油封若出现油封不良、弹簧过松、缺口、装置不良、磨损或润滑不佳，可能造成漏油、跳动磨损讯号或正逆转振动异常。透过设备 A/B/C 正逆转动态分析比较，可找出振动量较高或需要持续观察的设备。
PVD 减速机为什么需要比较空跑与製程状况？
减速机是 PVD 设备中的重要驱动部件，由齿轮、轴承、主轴与箱体组成。比较空跑状态与实际製程状况，可判断减速机在不同负载下的动态变化。若正转与逆转差异明显，代表后续需要持续观察其健康状态。
PVD 真空腔体动态讯号可以看出什么问题？
将感测器贴附于真空腔体下方部件位置，并比较不同设备在相同量测点的动态讯号，可判断腔体内是否存在机构异常震动。若设备讯号不规律，可能代表内部机构造成异常振动；若阀门作动振动较大，则建议进一步长期监测健康状况。
导入 PVD 设备巡检与预知保养有什么效益？
导入 PVD 设备巡检与预知保养后，可快速蒐集磁性油封、减速机、真空腔体、马达与 Oil Pump 的异常特徵，建立日后线上监控依据。透过长期趋势化管理，可提前发现设备劣化，避免製程中无预警停机或异常发生，进而提升产线良率与设备可靠度。