VMS^®-M SERIES

掌控監督廠房
科技大廠指名推薦

VMS^®-M SERIES 客製化廠區監測系統 為您的廠區量身打造客製化線上監測系統，預知監控廠區設備問題的長時間設備健康監控管家。

VMS^®-M SERIES 客製化廠區監測系統特點介紹

VMS^®-M SERIES 客製化廠區監測系統針對需要特別監控的設備機台做管理，配套的監測流程並即時回報機台設備問題，長時間搜集數據，讓您更清楚掌握設備狀態。

客製化全廠區的品質控管

VMS^®-M SERIES 是可攜式 VMS^®-P系列動態分析儀結合配套監測流程，適用即時線上回報廠區設備問題、長時間監控設備。

Main System:
AOI檢測機
曝光機
蝕刻機
探針測試機
Spin coater
slit coater
晶粒切割機
Die attach、Diffusion (爐管區)