VMS®-M SERIES 客製化廠區監測系統 針對需要特別監控的設備機台做管理,配套的監測流程並即時回報機台設備問題,長時間搜集數據,讓您更清楚掌握設備狀態。
VMS®-M SERIES 是可攜式 VMS®-P系列動態分析儀結合配套監測流程,適用即時線上回報廠區設備問題、長時間監控設備。
Main System:
AOI檢測機
曝光機
蝕刻機
探針測試機
Spin coater
slit coater
晶粒切割機
Die attach、Diffusion (爐管區)