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Stocker(STK)ストッカー設備の測定方法とは?

実績|Stocker(STK)ストッカー設備の測定方法とは?

インダストリー4.0の時代、多くの自動化設備が人手を置き換え、作業のスピードを向上させるとともに、複雑なプロセスや重労働を簡素化しています。
Stocker ストッカー設備は、重要な搬送・材料供給作業を担う装置ですが、輸送プロセスの安定性をどのように測定し、確保すればよいのでしょうか?

Stocker の特徴

インダストリー4.0の時代、多くの自動化設備が導入され、作業のスピード向上とともに、複雑な工程の簡素化や労働負担の軽減が進んでいます。
半導体およびデジタル技術の発展に伴い、コスト効率を追求するためにシリコンウェハーのサイズがますます大きくなっています。
そのため、搬送作業の難易度も上がり、自動化された搬送システムの導入が求められています。

こうした背景のもと、工場内には AMHS(Automatic Material Handling System:自動化材料搬送システム)や OHT(Overhead Transport:天井搬送システム)、Stocker(ストッカー設備)などの自動搬送システムが導入され、作業員の負担軽減や人的ミスの防止に貢献しています。
Stocker は工場の用途に応じてさまざまな形態や運用方法があり、代表的なものには ZIP Stocker、Foup Stocker、Tower Stocker、Linear Stocker などがあります。
これらの設備は モジュール設計を採用し、スペースの有効活用や作業効率の向上を目的としています。

Stocker

ソリューションと監視の説明

VMS-ML 機械学習スマート監視システム
Stocker は、ディスプレイ工場では ガラス基板の原材料の保管、半導体工場では 製品や完成品の保管などを担当する設備です。
ここでは、Crane STK が カセット搬送時の動作挙動および ブレーキサーボモーターの品質状態を監視・診断する事例をご紹介します。

OLVMS-ML 機械学習スマート監視システムを利用し、正常な動作を学習させ基準を設定することで、各アクションの監視・診断が可能になります。
また、システムを活用して設備のどの動作に異常や不安定な状態が発生しているかを把握し、事前に予知保全を実施することで、予期せぬトラブルの発生を防ぎます。

測定状況

Crane STK 搬送カセットのプロセス
Crane STK によるカセット搬送の動作シーケンス説明:

Take:Crane がカセットを取得
Put:Crane がカセットを配置
Go:Crane が最奥部へ移動
Come:Crane が開始位置に戻る
Take、Put、Go、Come の動作パターンを管理

Crane STK 搬送カセットのプロセス

Crane STK 搬送カセットの動作認識状況

カセット取得動作 (Take)
カセット配置動作 (Put)

黄色線:機械学習による動作基準、白色線:リアルタイム信号
システムは自動でアームの動作を追跡し、カセット取得・配置の動作を同時に管理。誤認識なし。
正常運転時の平均動的類似度:配置 - 91%、取得 - 92%
アームが正常に動作している場合、機械学習による動作(黄色線)とリアルタイム信号(白色線)が一致

Crane STK の空走滑走状況(カセットなし)

Crane 最奥部へ移動 (Go)
Crane 起動位置へ戻る (Back)

黄色線:機械学習による動作基準、白色線:リアルタイム信号
Crane の空走動作は安定しており、動的類似度スコアが高い!

Crane STK のカセット搬送時と空走時の滑走比較

Crane 最奥部へ移動 (Go)
Crane 起動位置へ戻る (Come)

黄色線:機械学習による動作基準、白色線:リアルタイム信号
Crane がカセットを搭載した状態では、動作に一貫性がなくなり、動的類似度スコアが低下!
アームの通常動作時、機械学習による動作とリアルタイム信号が一致しない!

Crane 空走時の4つのモーターの振動値比較

Crane 空走時の4つのモーターの振動値比較

モーター運行の可視化

モーター運行の可視化

Crane STK の負荷時 L1、L2 モーターの機械学習による判定比較

Crane STK 負荷モーター L1

Crane STK 負荷モーター L1

Crane STK 負荷モーター L2

Crane STK 負荷モーター L2

測定結論

工場内の OLVMS-ML 監視システムによるテストの結果、STK の L2 モーターに突発的な異常が発生し、
(健康なモーターを基準としたパターンとの)類似度の大きな差異が検出され、警告が発せられました。

また、L1 は L2 の影響を受けて類似度が変動し、周波数に異常が見られました。
R2 も L2 の影響を若干受けており、類似度がわずかに変動(R1 と比較)。
しかし、L2 から最も離れた R1 は比較的安定していました。

VMS-ML 機械学習スマート監視システムは、
1つのセンサーを使用して各軸の運行状況を把握した後、
VMS-PH 動的解析装置を用いて異常の原因を特定することが可能です。

VMS-ML 機械学習スマート監視システム
VMS-ML 機械学習スマート監視システム
VMS-ML 機械学習スマート監視システム

各動作の監視と診断を実施

よくあるご質問(FAQ)

ストッカー(STK)保管設備で測定を行う必要があるのはなぜですか?
ストッカー(STK)保管設備は、半導体工場やパネル工場において製品、完成品、またはカセット(Cassette)の保管と搬送を担う、自動搬送システム(AMHS)の重要な設備です。搬送プロセスで不安定な動き、モーターの異常、または動作のズレが発生すると、搬送効率、製品の安全性、および生産ラインの稼働率に影響を与える可能性があるため、測定を通じて設備の稼働状態を把握する必要があります。

クレーンSTK(Crane STK)がカセットを搬送する際、通常どのような動作を監視しますか?
クレーンSTKによるカセット搬送では、Take、Put、Go、Comeなどの連続動作を監視できます。「Take」はクレーンがカセットを取り出す動作、「Put」はカセットを置く動作、「Go」はクレーンが最奥部へスライドする動作、「Come」はクレーンが開始位置に戻る動作です。各動作の管理パターン(Pattern)を構築することで、搬送プロセスが安定しているかを判断できます。

VMS-MLはストッカー保管設備をどのように監視しますか?
VMS-ML機械学習インテリジェント監視システムは、クレーンSTKの正しい動作振る舞いを基準として学習し、各動作に対して監視と診断を行います。システムは機械学習の動作基準とリアルタイム信号を比較し、動的類似度スコアを通じて、設備がどの動作で異常や不安定な状態に陥っているかを判断します。

STK監視において、動的類似度スコアは何を意味しますか?
動的類似度スコアは、リアルタイム信号が正常な動作基準にどれだけ近いかを表します。クレーンSTKが正常に稼働している場合、機械学習の動作基準とリアルタイム信号はほぼ一致し、取り出し・配置の平均動的類似度は約91%〜92%に達します。積載後の稼働にばらつきが生じた場合、類似度スコアが低下し、動作の安定性が悪化している可能性を示します。

STKモーターの異常なサージ(突波)は何を意味する可能性がありますか?
STKモーターに負荷時または空運転時に異常なサージが発生した場合、モーターの稼働が不安定であるか、機構の負荷異常、軸方向の動作の不一致、または設備の健全性低下を示している可能性があります。本事例では、L2モーターに異常なサージが発生し、正常なモーターのパターンとの類似度に大きな差が生じたため、システムが警告を発しました。

STK保管設備の監視を導入するメリットは何ですか?
STK保管設備の監視を導入することで、1つのセンサーで各軸の稼働状況を把握し、モーターのサージ、搬送動作のばらつき、積載後の安定性低下などの問題を早期に発見できます。その後、VMS-PH動的アナライザーと組み合わせて異常原因を特定し、予知保全をサポートして予期せぬダウンタイムを回避することができます。