精密計測の誤差、原因は環境かそれとも除振か？

計測状況

環境振動分析（床）

重点：どこが最も揺れるか？振動源は何か（人／装置）？
各エリアおよび条件別の床振動データは以下の通りです：

位置	稼働（有人）	稼働（無人）	停止（有人）	停止（無人）
装置 A 床	Z：7.59μm/s Z：VC-C	Z：5.89μm/s Z：VC-D	Z：6.80μm/s Z：VC-C	Z：5.49μm/s Z：VC-D
装置 B 床	Z：17.03μm/s Z：VC-B	Z：16.32μm/s Z：VC-B	Z：12.37μm/s Z：VC-C	Z：12.37μm/s Z：VC-C
装置 D 床	Z：7.52μm/s Z：VC-C	Z：6.96μm/s Z：VC-C	Z：6.42μm/s Z: VC-C	Z：7.29μm/s Z：VC-C
装置 E 床	----	----	Z：42.28μm/s Z：VC-A	Z：38.59μm/s Z：VC-A
DEMOエリア床	----	----	Z：7.37μm/s Z：VC-C	Z：6.40μm/s Z：VC-C
実験エリア床	----	----	Z：7.59μm/s Z：VC-C	Z：5.89μm/s Z：VC-D

装置の影響

装置B：稼働中 → VC-B（16~17 um/s）；停止中 → VC-C（12 um/s）
結論：装置の稼働により振動レベルが1ランク悪化（VC-C → VC-B）します。

人の影響（低周波干渉源）

装置A：無人（ON）→ 5.89 → VC-D；有人（ON）→ 7.59 → VC-C
結論：人の歩行は振動を増大させ、一部エリアではレベルを1ランク変動させます。

エリア差（構造・配置問題）

装置E → 38~42 um/s → VC-A（極めて高い振動）
装置D → 約 6~7 um/s → VC-C（安定）
結論：床の振動はエリアにより大きく異なり（最大3ランク差）、構造上の伝播や近隣振動源の影響が顕著です。

除振効果の計測（プラットフォーム）

プラットフォームの条件別振動データまとめ：

位置	装置OFF 除振OFF 真空ポンプOFF 無人	装置ON 除振ON 真空ポンプOFF 無人	装置ON 除振ON 真空ポンプOFF 歩行あり	装置ON 除振ON 真空ポンプON 無人
装置 A 台	Z：7.62μm/s Z：VC-C	Z：5.71μm/s Z：VC-D	Z：9.73μm/s Z：VC-C	Z：3.70μm/s Z：VC-D
装置 A 門型	----	----	----	Z：8.7μm/s Z：VC-C
装置 B 台	X：37.37μm/s X：VC-A	X：46.62μm/s X：VC-A	X：53.21μm/s X：Operating theatre	----
装置 C 台	Z：11.99μm/s Z：VC-C	----	Z：3.26μm/s Z：VC-D	Z：3.41μm/s Z：VC-D

＊（Operating theatreはISO規格の低振動レベル対応値）

除振エアの効果

装置 A 台：
• エアOFF → 7.62 um/s (VC-C)
• エアON → 5.71 um/s (VC-D)
• 真空ポンプON → 3.70 um/s (VC-D)
空気ばねによる除振で振動が約25~50%低減。
結論：振動レベルが1ランク改善（VC-C → VC-D）。

人の歩行の影響

装置 A 台：
• 除振ON + 無人 → 5.71 um/s (VC-D)
• 除振ON + 歩行 → 9.73 um/s (VC-C)
結論：人の歩行は除振効果を相殺し、レベルが元に戻る場合があります。

装置による個体差（構造・振動源）

装置 B 台：
• OFF → 37.37 um/s (VC-A)
• ON → 46.62 um/s (VC-A)
• 歩行あり → 53.21 um/s (VC-Aを超過)
結論：装置B自体が強振動源であり、除振台の効果は限定的です。

光学定盤（装置 C）

装置 C：
• 初期 → 11.99 (VC-C)
• 除振ON → 3.26 / 3.41 (VC-D)
結論：除振効果が顕著（約70%低減）です。

計測結論

環境振動は装置稼働と人の活動に左右されます。装置稼働はVC-CからVC-Bへ悪化させ、人の歩行は低周波干渉を増大させます。

除振システム有効時、プラットフォームの振動はVC-CからVC-Dへ改善（30~70%低減）されます。しかし低周波干渉下では効果が限定されるため、「振動源管理、環境改善、除振設計」を組み合わせた統合的な対策が不可欠です。